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KJ-1200-S6014LK1-H PECVD設(shè)備 化學(xué)氣相沉積爐
參考價(jià) | ¥ 155000 |
訂貨量 | ≥1 |
- 公司名稱 鄭州科佳電爐科技有限公司
- 品牌
- 型號 KJ-1200-S6014LK1-H
- 產(chǎn)地 河南鄭州高新區(qū)玉蘭街55號
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2016/5/23 17:46:28
- 訪問次數(shù) 388
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箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺(tái)車爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件,加熱元件及耐火材料。
科佳電爐立足于化驗(yàn)設(shè)備產(chǎn)品的研發(fā)制造,全面開發(fā)生產(chǎn)氣氛爐,管式爐,量熱儀,測硫儀,馬弗爐,高溫箱式爐,管式爐,烤瓷爐,箱式馬弗爐,真空爐,管式爐CVD系統(tǒng),升降爐產(chǎn)品。
產(chǎn)品描述:
KJ-1200-S6014LK1-H多路混氣管式PECVD系統(tǒng),由KJ-T1200單溫區(qū)管式爐、真空系統(tǒng)、質(zhì)子流量計(jì)、射頻電源系統(tǒng)系統(tǒng)組成
技術(shù)參數(shù):
產(chǎn)品名稱 | 管式PECVD系統(tǒng)(CE認(rèn)證) |
管式爐部分 | |
產(chǎn)品型號 | KJ-1200-S6014LK1-H |
爐管尺寸 | Φ60mmX1400mm |
工作溫度 | 1100℃ |
zui高溫度 | 1200℃ |
溫控方式 | K型熱電偶 |
溫控系統(tǒng) | 30段PID微電腦可編程自動(dòng)控制(用戶可選配液晶觸摸屏顯示) |
溫控精度 | ±1℃ |
溫控保護(hù) | 具有超溫和斷偶保護(hù)功能 |
zui快升溫速率 | 30ºC/M |
加熱元件 | 含鉬電阻絲 |
工作電壓 | AC 220V 單相 50HZ (電路電壓用戶可選擇定制) |
zui大功率 | 3KW |
爐膛材料 | 氧化鋁多晶纖維 |
密封系統(tǒng) | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸,氣密性好可保證12小時(shí)壓力表指針不偏轉(zhuǎn)。 |
爐 管 | 石英爐管 |
爐殼溫度 | ≤45℃ |
真空系統(tǒng)部分 | |
名稱 | 高真空分子泵 |
主要參數(shù) | 高真空分子泵組,高真空復(fù)合真空計(jì) 前級泵2升每秒,分子泵600升每秒 采用KF25系列波紋管和真空擋板閥連接
|
真空顯示 | 復(fù)合真空計(jì) |
冷卻系統(tǒng) | 循環(huán)水冷機(jī) |
氣路系統(tǒng)部分 | |
名稱 | 3路質(zhì)子流量計(jì) |
型號 | D07-26 |
主要參數(shù) | 基準(zhǔn)源:+5.00V±0.1% 10mA~供電源220V±10% 50Hz |
射頻器部分 | |
名稱 | 射頻自動(dòng)匹配器 |
匹配功率范圍 | 0-500W |
工作頻率: | 13.56MHZ |
正常工作反射功率 | <3W |
匹配時(shí)間 | <3S |
傳輸效率 | >90% |
匹配器電源 | AC220V/50-60HZ |
輸入連接器 | N型 |
輸出連接器 | UHF |
控制模式 | 手動(dòng)/自動(dòng) |
可設(shè)預(yù)置點(diǎn)數(shù) | 7 |
匹配阻抗范圍 | 實(shí)部0-80Ω 虛部-j200-j200(可根據(jù)負(fù)載調(diào)節(jié)阻抗) |
匹配器尺寸 | 340X230X130 MM |
整機(jī)重量 | 5.5KG |
說明:1、本產(chǎn)品的規(guī)格參數(shù)僅供參考,以具體產(chǎn)品實(shí)際參數(shù)為準(zhǔn),請與銷售及咨詢客服人員。
2、產(chǎn)品圖片及外觀尺寸在不斷研發(fā)更新中、如有更改恕不另行通知。
3、除標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品外、我公司可根據(jù)客戶要求,進(jìn)行設(shè)計(jì)生產(chǎn),具體與銷售人員,