PCE-22-LD紫外臭氧清洗機
- 公司名稱 沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地 沈陽
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2022/11/24 16:13:57
- 訪問次數(shù) 4433
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 地礦 |
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PCE-22紫外臭氧清洗機是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機,其加熱溫度可達150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片,為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠,改善表面潤濕性,清洗SEM &TEM,紫外對聚合物改性等。 紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級別的清洗手段,特別適合清除一些有機化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光:185nm和254nm。其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵(特別是碳碳鍵)。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機化合物。1、僅室內(nèi)使用; 海拔高度5500英尺以內(nèi);
2、溫度范圍:5-40℃;
3、相對濕度上限80%,30.5℃,40℃線性降至50%相對濕度;
4、主電源波動不超過額定電壓的10%;
5、污染等級2; 臭氧水平(環(huán)境)測量<45 ppb。
6、去除分子級別的污染物
7、紫外光固化粘合劑
8、紫外光催化
9、氧化PDMS
10、表面消毒
11、刻蝕
12、清洗MEMS 器件
13、清洗各種基片,如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片
產(chǎn)品名稱 | PCE-22紫外臭氧清洗機 | |
產(chǎn)品型號 | PCE-22 | |
主要參數(shù) | 1、功率:上限350W 2、AC 208~240V,單相 50/60Hz | |
腔體&樣品臺 1、不銹鋼殼體 2、抽屜式樣品臺,以便放樣取樣 3、樣品臺面積310 mm x 320 mm 4、臭氧通風(fēng)裝置安裝在腔體上 5、樣品臺與紫外燈的距離:20mm -40mm(可調(diào)) 6、樣品臺可以加熱,最高溫度可達150℃ 7、可設(shè)置20段升降溫程序,控溫精度為+/-1℃ 8、設(shè)備運行時間:0.01 秒- 99.9小時 | ||
排氣口 1、直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端 2、請將橡膠管與排氣口連接,將臭氧排出到實驗室外 3、儀器中不包含橡膠管 | ||
紫外燈 1、可發(fā)出雙波長的水銀燈 2、功率:55W 3、發(fā)出光的波長:254 nm 和 185 nm 4、使用壽命:2500 小時(可更換) 5、照射區(qū)域:200 x 200 mm 6、可以清潔直徑上限為12英寸x 35毫米的晶體晶片。 | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 1、尺寸:510mm x 350mm x 400mm (W x H x D) 2、重量:28kg |