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VTC-100PA(加熱型) 真空旋轉涂膜機--VTC-100PA(加熱型)

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  合肥科晶材料技術有限公司成立于1997年,是由一群來自麻省理工學院和加州大學伯克利分校的材料研究人員創(chuàng)辦的美國MTI公司與中科院合肥物質(zhì)科學研究院合資興辦的高新技術企業(yè)。主要生產(chǎn)氧化物晶體(A--Z)和材料實驗室成套設備:包括“混料-壓料-燒料”(混料機、壓片機、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸、金剛石線切割機、自動研磨、拋光機)。公司自主研發(fā)生產(chǎn)上百款不同規(guī)格尺寸、溫度、高溫高壓及快速升溫等產(chǎn)品,其中包括:箱式爐、氣氛爐、管式爐、井式爐、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐、鍍膜機、清洗劑及新能源鋰離子電池研發(fā)等相關實驗室設備。現(xiàn)已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實驗室設備的*,為科研工作者提供材料研究解決方案。產(chǎn)品設計*、性能優(yōu)異,質(zhì)量可靠,性價比高,環(huán)保節(jié)能、返修率低,遠銷到歐洲,美國,日本,德國等許多國家,廣泛應用于物理、化學、冶金、醫(yī)學、新能源材料研發(fā)等領域,受到客戶*好評。
 
  科晶公司秉承"以人為本、技術為導、誠信為基、積極創(chuàng)新"的經(jīng)營理念,全力打造材料研發(fā)設備的品牌,竭力為科學進步和社會發(fā)展做出貢獻。
 

真空管式爐,高溫箱式爐,高速震動球磨機,RTP快速退火爐,高溫高壓爐,涂覆機,電池制備設備等

 VTC-100PA真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。

 

 技術參數(shù)

主要特點

  • 真空吸附方式固定樣件,操作簡便。
  • 使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。
  • 根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。
  • 設有12組程序,每組包含6個運行階段。
  • 電機啟動快速穩(wěn)定,可以保證涂層厚度的*性和均勻性。
  • 50W/24V 直流電機
  • 適于在Ar氣環(huán)境中工作(真空泵放置在手套箱外)

參數(shù)

  •  電機功率:50W/24V
  •  速度范圍:500-10000rpm
  •  程序運行:可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段
  •  增減速率設置范圍:100rpm/s-2000rpm/s
  •  時間范圍:0-60s
  •  吸盤:Φ19mm、Φ60mm
進氣口

上蓋有一個直徑6mm的進氣口可將需要的氣體通入腔體,實現(xiàn)在氣氛環(huán)境下旋轉涂覆

可選加熱部

    上蓋內(nèi)部增加紅外燈管加熱,采用K型熱偶測溫,數(shù)字溫控器控溫,zui高120℃,可使得樣品涂覆后原位烘干,用于薄膜太陽能電池等研究。

             

產(chǎn)品規(guī)格

  • 尺寸:450mm×280mm×340mm;
  • 重量:20kg

標準配件

1

 真空吸盤(含O型圈)

2

2

 中心定位器(含4個定位柱)

1

3

 滴膠注射器(20ml

1

4

 注射器支架

1

5

 無油真空泵

1

6

 橡膠管(含卡箍)

1

可選配件

 過濾器(真空泵用)



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