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臺(tái)式日本掃描電鏡

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日本掃描電鏡

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營(yíng)業(yè)據(jù)點(diǎn)

東莞市協(xié)美電子有限公司

東莞市協(xié)美電子有限公司 怡星(中國)有限公司

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JEOL 日本電子

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日本掃描電鏡通過超級(jí)混合式物鏡(SHL)進(jìn)行高分辨率觀察

JSM-7800F的物鏡采用的是靜電場(chǎng)和靜磁場(chǎng)疊加的超級(jí)混合式物鏡(SHL),由于減少了色差及球差,*地提高了低加速電壓下的分辨率。此外,SHL不會(huì)對(duì)樣品形成磁場(chǎng)影響,因此觀察磁性材料的樣品和進(jìn)行EBSD測(cè)試可以不受制約。

JSM-7800F場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
JSM-7800F場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

日本掃描電鏡低加速電壓下的能量選擇

能量過濾器位于高位檢測(cè)器 (UED)的正下方,可以選擇能量。即使在低加速電壓下,也能夠精確地選擇二次電子和背散射電子,因而可以通過低加速電壓下的背散射電子像,觀察樣品的淺表面。

日本掃描電鏡通過GENTLE BEAM (即柔和光束GB模式)觀察樣品的淺表面

給樣品加以偏壓(GB),對(duì)入射電子有減速、對(duì)釋放出的電子有加速作用。即使入射電子束到達(dá)樣品時(shí)的能量很低,也可以獲得高分辨率、高信噪比的圖像。如果利用能施加更高偏壓的GB模式,用數(shù)十電子伏能量的入射電子束,就可以進(jìn)行更高分辨率的觀察。

JSM-7800F場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡
JSM-7800F場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

日本掃描電鏡通過多個(gè)檢測(cè)器獲取樣品的所有信息

JSM-7800F配有四種檢測(cè)器:高位檢測(cè)器(UED) 、高位二次電子檢測(cè)器(USD)、背散射電子檢測(cè)器(BED)和低位檢測(cè)器(LED)。UED過濾器的電壓不同,二次電子和背散射電子的數(shù)量會(huì)改變,因此可以選擇電子的能量,USD檢測(cè)被過濾器彈回的低能量電子,BED通過檢測(cè)低角度的背散射電子,能清楚地觀察通道襯度。利用LED的照明效果能夠獲得含有形貌信息的、富有立體感的圖像。

 

日本掃描電鏡應(yīng)用實(shí)例

低加速電壓下的觀察
利用JSM-7800F的GB模式,到達(dá)樣品的能量從10 eV開始就可以觀察。下面將到達(dá)樣品的能量設(shè)定為80 eV進(jìn)行實(shí)例觀察:一個(gè)碳原子厚度的石墨薄片的表面

樣品: 石墨烯 到達(dá)能量80eV

利用GBSH觀察
利用GBSH對(duì)樣品施加高偏壓,像差將會(huì)減小,圖像的高分辨率會(huì)更高。能清楚地觀察到介孔二氧化硅里中的微孔(左圖)。

樣品:介孔二氧化硅 到達(dá)樣品的能量: 1keV

觀察磁性材料樣品
SHL物鏡能抑制磁場(chǎng)的泄漏,因此即便是磁性材料的樣品,也可以用極低的入射電子能量很容易地進(jìn)行高分辨率觀察 。

樣品: 磁鐵礦納米顆?!〉竭_(dá)樣品的能量: 1keV

UED和USD能同時(shí)獲取背散射電子像(左圖)和二次電子像(右圖),因此可以精確地解釋圖像。二次電子像主要反映形貌信息,金顆粒和TiO2的襯度沒有明顯不同,而背散射電子像中原子序數(shù)高的金顆粒則顯得明亮。樣品: 金負(fù)載型TiO2催化劑(2kV)g

磁性樣品的EBSD測(cè)試
SHL沒有磁場(chǎng)泄漏的影響,也很適合于EBSD。象下圖所示那樣,通過反極圖能準(zhǔn)確地確定晶體的取向。

分析點(diǎn)數(shù): 118585
尺寸:
Xzui大: 80.00微米, Y zui大: 79.89微米
步長(zhǎng): 0.25微米
相: Nd2Fe14B
從樣品中獲得的EBSD花樣實(shí)例
( 在任意點(diǎn)上獲取)
ND TD RD

 

日本掃描電鏡產(chǎn)品規(guī)格

分辨率 0.8 nm(15 kV)
1.2 nm(1 kV)
3.0 nm (15kV、5nA、WD10mm)
倍率 ×25 ~ ×1,000,000(SEM)
加速電壓 0.01kV ~ 30kV
樣品照射電流(探針電流) 數(shù)pA~200nA
自動(dòng)光闌角*控制透鏡 內(nèi)置
檢測(cè)器 高位檢測(cè)器(UED)
低位檢測(cè)器(LED)
能量過濾器 UED過濾器電壓可變功能內(nèi)置
Gentle Beam (GB模式即柔和光束) (樣品偏壓) 內(nèi)置
數(shù)字圖像 1,280 x 960 像素, 800 x 600 像素
樣品交換室 由TYPE2A構(gòu)成
樣品臺(tái) 全對(duì)中測(cè)角樣品臺(tái)、5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
X-Y X:70mm, Y:50mm
傾斜 -5 ~ +70°
旋轉(zhuǎn) 360°
工作距離 2mm to 25mm
真空系統(tǒng) SIP 2臺(tái)、TMP、RP
節(jié)能設(shè)計(jì) 正常運(yùn)行時(shí): 1.3kVA
節(jié)能模式時(shí): 0.8kV

 

JSM-7800F的物鏡采用的是靜電場(chǎng)和靜磁場(chǎng)疊加的超級(jí)混合式物鏡(SHL),由于減少了色差及球差,*地提高了低加速電壓下的分辨率。此外,SHL不會(huì)對(duì)樣品形成磁場(chǎng)影響,因此觀察磁性材料的樣品和進(jìn)行EBSD測(cè)試可以不受制約。



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