聚焦離子束激光離子化納米質(zhì)譜成像系統(tǒng) (FILMER)

                                    -納米尺寸表面質(zhì)譜成像

FILMER基于二次離子質(zhì)譜技術(shù)，集成了聚焦離子束，掃描電子顯微鏡和激光器。

功能

? 二次離子質(zhì)譜

原理

用聚焦離子束濺射試樣表面，收集和分析排出的二次離子；

數(shù)據(jù)采集

這些二次離子的質(zhì)量/電荷比及質(zhì)譜可確定元素，同位素，或分子組成；

?激光二次中性質(zhì)譜（Laser-SNMS）

原理

用聚焦離子束濺射試樣表面，使用激光共振電離大多數(shù)濺射中性原子；

數(shù)據(jù)采集

與二次離子質(zhì)譜相同

?聚焦離子束精細(xì)加工

可以通過連續(xù)Ga聚焦離子束連續(xù)濺射樣品表面除去想要除去的部分；

?二次離子質(zhì)譜及掃描電子顯微鏡觀測

可實(shí)現(xiàn)二次離子質(zhì)譜及掃描電子顯微鏡兩種觀測方式；

主要特點(diǎn)：

1. 高空間分辨率

□ 橫向分辨率 < 40nm

□ 質(zhì)譜分辨率 m/Δm >7000@m/z=56

2. 可原位加工和分析，避免暴露于空氣中

□ SEM小損傷觀測，可定位值FIB相同位置；

□ 可分析顆粒表面及橫截面；

3. 可實(shí)現(xiàn)激光二次中性質(zhì)譜

□ 與傳統(tǒng)SIMS相比可顯著改善信號靈敏度；

□ 高靈敏度的有機(jī)化合物分析；

技術(shù)參數(shù)：