ALIO精密運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)概述：

Alio創(chuàng)始于2001年，我們的理念——不斷探索更好的方法來(lái)滿(mǎn)足納米級(jí)運(yùn)動(dòng)控制的需求。這個(gè)zui初的理念逐步擴(kuò)展為一條產(chǎn)業(yè)鏈：六軸運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)、氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)、機(jī)械軸承系統(tǒng)、線(xiàn)性和旋轉(zhuǎn)納米級(jí)系統(tǒng)、高真空系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、生物醫(yī)學(xué)、印刷、3D打印、光刻、微納加工、同步輻射加速器等領(lǐng)域。

ALIO 設(shè)計(jì)和生產(chǎn)的精密運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)使納米水平的制造和研發(fā)成為可能。

一、線(xiàn)性運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)

　　ALIO致力于納米精度運(yùn)動(dòng)的研究已超過(guò)10年。在這些年中，ALIO的工程師們滿(mǎn)懷激情，不斷開(kāi)發(fā)產(chǎn)品、改進(jìn)生產(chǎn)技術(shù)，現(xiàn)已擁有“6-D Nano Precision?”和“True Nano?”的注冊(cè)商標(biāo)。在設(shè)計(jì)和制造中，ALIO采用了全新且*的技術(shù)和組件，解決了傳統(tǒng)精密定位產(chǎn)品難以避免的一些問(wèn)題，產(chǎn)品已通過(guò)NIST（美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院）的檢測(cè)，達(dá)到可追溯的納米級(jí)精度。

　　ALIO的線(xiàn)性平臺(tái)產(chǎn)品在內(nèi)擁有*的性能和可靠性，僅僅使用機(jī)械導(dǎo)軌的平臺(tái)，其性能已達(dá)到競(jìng)爭(zhēng)者使用氣浮導(dǎo)軌平臺(tái)的水平。當(dāng)競(jìng)爭(zhēng)者還在研究二自由度范圍的重復(fù)性和精度時(shí)，ALIO已進(jìn)入六自由度納米精度的研究。

ALIO精密運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)

　　ALIO旗下的所有線(xiàn)性平臺(tái)產(chǎn)品系列均擁有世界1流的性能。為了適合不同的應(yīng)用，可采用不同的配件組合，如馬達(dá)、編碼器以達(dá)到*性?xún)r(jià)比。

1. 精密交叉滾柱導(dǎo)軌平臺(tái)的加工及裝配擁有ALIO設(shè)計(jì)。
2. ALIO XY線(xiàn)性系統(tǒng)具有不可比擬的六自由度的性能。
3. 氣浮配重的音圈電機(jī)在垂直Z軸上的應(yīng)用。
4. “6-D Nano Precision?”直線(xiàn)電機(jī)專(zhuān)為低成本需求設(shè)計(jì)。
5. 線(xiàn)性壓電馬達(dá)。

二、Hybrid Hexapods混聯(lián)六自由度精密位移臺(tái)

　　六軸并聯(lián)設(shè)計(jì)zui初被用于游樂(lè)設(shè)施中，后來(lái)又在飛行員培訓(xùn)的飛行模擬器中使用。經(jīng)過(guò)多年的發(fā)展，PKM的技術(shù)不斷更新，延伸至微米精度制造、實(shí)驗(yàn)室運(yùn)動(dòng)控制需求以及產(chǎn)品檢驗(yàn)等領(lǐng)域。盡管現(xiàn)代許多公司叫賣(mài)可達(dá)納米級(jí)分辨率和重復(fù)精度，六自由度納米精度的真正突破是ALIO的6-D Nano Precision ?。

　　六軸并聯(lián)臺(tái)有12個(gè)節(jié)點(diǎn)或屈曲分別在6個(gè)移動(dòng)線(xiàn)性鏈接的末端，有同軸及偏軸誤差。6個(gè)鏈接一旦整合到六軸并聯(lián)臺(tái)中，即使插入正逆運(yùn)動(dòng)方程，這個(gè)剛性問(wèn)題也會(huì)導(dǎo)致整個(gè)系統(tǒng)的誤差增大。這所有的誤差都將不能使任何的六自由度位移臺(tái)成為T(mén)rue Nano ? 定位運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。路徑或直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)在納米精度運(yùn)動(dòng)中是至關(guān)重要的。因此，PKM在三軸并聯(lián)臺(tái)的研究中仍具有實(shí)際意義。ALIO在過(guò)去的12年里設(shè)計(jì)并改進(jìn)六軸和三軸并聯(lián)臺(tái)，重點(diǎn)在三軸并聯(lián)臺(tái)中安裝線(xiàn)性軸來(lái)提高六軸并聯(lián)臺(tái)的精度。ALIO線(xiàn)性馬達(dá)三軸并聯(lián)臺(tái)具有低于10nm重復(fù)精度和100nm精度的無(wú)限分辨率。在XY線(xiàn)性運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)上組裝成五軸或增加一個(gè)旋轉(zhuǎn)來(lái)組成完整的六自由度并聯(lián)精密位移臺(tái)。ALIO混合六自由度并聯(lián)精密運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)相較于傳統(tǒng)的六軸并聯(lián)臺(tái)在精度上具有明顯的提高。

　　無(wú)論是從現(xiàn)在還是未來(lái)來(lái)看， 6-D Nano Precision?的產(chǎn)生和發(fā)展都是納米精度系統(tǒng)的自然過(guò)程，ALIO混合六自由度精密運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)通過(guò)正逆運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)了簡(jiǎn)單設(shè)計(jì)的類(lèi)六軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，以G代碼編程來(lái)解決CAD-CAM的裝配問(wèn)題。

　　ALIO混合六自由度精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)具有可擴(kuò)展性，可載物100公斤，行程支持從5毫米到1米以上。不論產(chǎn)品尺寸大小， 6-D 運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)都優(yōu)于其他產(chǎn)品使之保持在一個(gè)精度范圍內(nèi)。該設(shè)計(jì)與制造的突出特點(diǎn)就是，即使增強(qiáng)工作結(jié)構(gòu)的體積或剛性強(qiáng)度，都能使系統(tǒng)保持直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)。

　　總之，六軸并聯(lián)臺(tái)除了非常適合于處理6-D Nano Precision?的應(yīng)用，仍有很多其他應(yīng)用領(lǐng)域。ALIO混合并統(tǒng)將更好的服務(wù)于各項(xiàng)應(yīng)用，特別是True Nano?可用于剛性需求增強(qiáng)的平直度和平整度的機(jī)械加工和粘接。

三、并聯(lián)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)

　　ALIO擁有兩項(xiàng)并聯(lián)運(yùn)動(dòng)機(jī)器人的：1、三軸Tripod（美國(guó)號(hào)6769194）；2、六軸Hexapod（美國(guó)號(hào)6671975），該系統(tǒng)取得了革命性的突破，能保證加工工藝和產(chǎn)品檢測(cè)達(dá)到納米精度。

　　早在2001年，由ALIO設(shè)計(jì)制造的真納米Tripod和Hexapod機(jī)器人首度面世，并取得。多年以來(lái)，ALIO的Hexapod一直都是六軸機(jī)器人納米應(yīng)用的業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)。ALIO真納米Hexapod的運(yùn)動(dòng)速度高達(dá)250毫米/秒，依然能保證虛擬編程的*中心點(diǎn)的定位精度達(dá)到納米級(jí)。該系列產(chǎn)品已奠定下一代自動(dòng)化納米定位系統(tǒng)的基石，可滿(mǎn)足諸多域諸如光電子、封裝、測(cè)量測(cè)試、微加工、政府、醫(yī)療和半導(dǎo)體制造等非?？量痰膽?yīng)用。

四、氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)

ALIO開(kāi)發(fā)的*產(chǎn)品--6自由度納米定位氣浮導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用在制造、檢驗(yàn)、維修和計(jì)量等領(lǐng)域。ALIO的氣浮產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、航天、噴墨打印、光刻、光學(xué)檢測(cè)、光伏等領(lǐng)域，擁有多項(xiàng)平面和Z軸方面的。

　　ALIO旗下的納米精密平面氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)已將氣浮導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)的性能提升到一個(gè)全新的水準(zhǔn)，該系統(tǒng)的目的就是滿(mǎn)足和超越當(dāng)今半導(dǎo)體晶片、平板顯示、納米制造和光學(xué)檢測(cè)等領(lǐng)域?qū)芏ㄎ幌到y(tǒng)的苛刻要求。

五、Z軸升降運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)

傳統(tǒng)的Z軸楔垂直平臺(tái)，至少包括復(fù)雜的彎角、3套導(dǎo)軌、帶聯(lián)軸器和編碼器的電機(jī)這些結(jié)構(gòu)件，每個(gè)組件都會(huì)增加整體誤差，嚴(yán)重影響系統(tǒng)整體的精確度。

　　ALIO摒棄這種設(shè)計(jì)，提供了一系列高精度、高重復(fù)性的垂直平臺(tái)。

六、旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)

　　ALIO為滿(mǎn)足并超越當(dāng)今高精度旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的需求，ALIO開(kāi)發(fā)了真納米精度旋轉(zhuǎn)平臺(tái)。該產(chǎn)品線(xiàn)日漸豐富，我們?cè)概c廣大客戶(hù)合作，提供解決方案，滿(mǎn)足客戶(hù)需求。

七、真空運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)

      在*科技行業(yè)中，要求運(yùn)動(dòng)尺度越來(lái)越小已成為共同趨勢(shì)，相應(yīng)地納米運(yùn)動(dòng)管理更加普及深入。在眾多對(duì)定位敏感的行業(yè)，如光纖、生物醫(yī)學(xué)、微型機(jī)械、電子、半導(dǎo)體、能源、光學(xué)、航空航天、同步加速器等等，這種趨勢(shì)是很普遍的。      在納米精度的真空平臺(tái)和機(jī)器人系統(tǒng)方面，ALIO已積累豐富經(jīng)驗(yàn)。除氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)外，ALIO的其他產(chǎn)品均適用于超高真空環(huán)境。用于高真空（10-7托）和超高真空（10-10托）環(huán)境的各種平臺(tái)和系統(tǒng)如線(xiàn)性、旋轉(zhuǎn)、中空XY、Hexapod、Tripod和測(cè)角器等，所有的超低出氣材料和部件都經(jīng)過(guò)精心準(zhǔn)備和烘烤。

      納米定位應(yīng)用要求非?？量?，當(dāng)運(yùn)動(dòng)處于真空下，或要求延長(zhǎng)行程、重復(fù)性更精細(xì)、速度更高、正常運(yùn)行時(shí)間更長(zhǎng)、成本更低時(shí)，就更增加了復(fù)雜程度。

　　要使各組件*而協(xié)調(diào)地一起工作以達(dá)到納米精度，在加工和選擇組件上的挑戰(zhàn)不容低估。驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、導(dǎo)軌、反饋系統(tǒng)、運(yùn)動(dòng)控制器、運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)和環(huán)境均需要設(shè)計(jì)完善，以滿(mǎn)足在大氣或真空環(huán)境的納米精度。真空環(huán)境下的挑戰(zhàn)會(huì)隨真空度、定位性能、出氣的不同而變化。

八、定制運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)

　　ALIO用企業(yè)的核心技術(shù)為OEM客戶(hù)提供定制化服務(wù)，令客戶(hù)顯著增效，同時(shí)也促進(jìn)了新納米精度應(yīng)用的推廣運(yùn)用。不僅如此，ALIO不斷超越OEM客戶(hù)的需求，幫助客戶(hù)成為其行業(yè)*。

　　將模型整合去滿(mǎn)足甚至超越客戶(hù)的*需求，在此方面，ALIO有非常豐富的成功案例，并*跟蹤服務(wù)。因此，ALIO獲得眾多客戶(hù)的*青睞。

　　一直以來(lái)，ALIO秉承誠(chéng)實(shí)和正直的宗旨，幫助客戶(hù)理解精密應(yīng)用的復(fù)雜性。ALIO不只是局限于達(dá)到客戶(hù)其所想，更是將相關(guān)知識(shí)為客戶(hù)深入剖析，促其升華。