IB-19500CP 離子研磨儀IB-19500CP
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- 公司名稱 東莞市協(xié)美電子有限公司
- 品牌
- 型號 IB-19500CP
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2015/7/6 15:17:10
- 訪問次數(shù) 2037
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★間歇加工減輕了樣品的損傷。 標配的間歇加工模式,可以減輕對樣品的熱損傷。 | |
★采用新開發(fā)的快速離子源 可提供500μm/h(8KV/2小時的平均值)的研磨速率
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★可以選擇精細拋光。 快速加工之后,通過設定精細拋光參數(shù)可以減輕離子束對加工截面表層的損傷。 | |
一般加工模式 | 間歇加工模式 |
產(chǎn)品規(guī)格
離子加速電壓 | 2 ~ 8 kV |
離子束直徑 | 500μm以上(半高寬) |
研磨速率 | 500 μm/h( 2小時的平均値、加速電壓8 kV、硅換算、邊緣距離100 μm ) |
zui大樣品尺寸 | 11 mm(寬) × 10 mm(長) × 2 mm(高) |
樣品移動范圍 | X軸: ±10mm、Y軸: ±3mm |
樣品旋轉(zhuǎn)角度調(diào)節(jié)范圍 | ±5° |
操作方法 | 觸控屏、165mm顯示器 |
離子束氣源 | 氬氣 |
壓力測試 | 潘寧規(guī) |
排氣系統(tǒng) | 渦輪分子泵、機械泵 |
尺寸?重量 | 主機: 545 mm(寬) × 550 mm(長) × 420 mm(高)、66kg 機械泵: 150 mm(寬) × 427 mm(長) × 230 mm(高)、約16 kg |
離子研磨儀IB-19510CP