JSM-7610F 場發(fā)射掃描電子顯微鏡價格
- 公司名稱 東莞市協(xié)美電子有限公司
- 品牌
- 型號 JSM-7610F
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2018/6/6 19:43:57
- 訪問次數(shù) 2261
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通過半浸沒式(semi-in-lens)物鏡進(jìn)行高分辨率觀察和分析 半浸沒式(semi-in-lens)物鏡在低加速電壓下也能將電子束聚焦得很細(xì);浸沒式(in-lens)肖特基場發(fā)射電子槍壽命長,能獲得穩(wěn)定的電流,這兩者的結(jié)合使高分辨率觀察和高空間分辨率分析能夠兼顧。 | |
通過Gentle Beam(柔和光束),以能量極低的入射電子束觀察樣品的淺表面 通過給樣品加以偏壓并照射電子束,能夠利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 (柔和光束),以能量為數(shù)百電子伏的入射電子束對樣品的淺表面進(jìn)行高分辨率觀察,這是迄今為止未能實(shí)現(xiàn)的。 | |
High Power Optics(高性能電子光學(xué)系統(tǒng))能進(jìn)行快速、高精度的分析 電子光學(xué)系統(tǒng)采用了High Power Optics(高性能電子光學(xué)系統(tǒng))。不僅能進(jìn)行高分辨率觀察還可以進(jìn)行穩(wěn)定、快速、高精度的元素分析。 |
應(yīng)用實(shí)例
利用半浸沒式(semi-in-lens)物鏡進(jìn)行高分辨率觀察 樣品:Pt催化劑 加速電壓:15kV | |
利用半浸沒式(semi-in-lens)物鏡進(jìn)行高分辨率觀察 樣品:納米碳管的STEM像 加速電壓:30kV | |
利用Gentle Beam 觀察樣品的淺表面 樣品:濾紙 加速電壓:0.5eV | |
利用Gentle Beam 觀察樣品的淺表面 樣品:介孔二氧化硅 | |
利用半浸沒式(semi-in-lens)物鏡進(jìn)行高空間分辨率分析 樣品:LED截面(100nm以下多層結(jié)構(gòu)的EDS分析) |
產(chǎn)品規(guī)格
分辨率 | 1.0nm (15kV) , 1.3nm (1kV) , 分析當(dāng)中 3.0 nm (15 kV、 束流電流 5 nA) | ||
倍率 | 25 to 1,000,000 | ||
加速電壓 | 0.1kV to 30kV | ||
探針電流 | 數(shù) pA ~ 200nA | ||
自動光闌角*控制透鏡 | 內(nèi)置 | ||
檢測器 | 高位檢測器(SED)、低位檢測器(LDD) | ||
能量過濾器 | SP r-能量過濾器 | ||
Gentle Beam(樣品偏壓) | 內(nèi)置(施加樣品偏壓 0~ 2kV) | ||
樣品臺 | 5軸馬達(dá)驅(qū)動, 全對中測角樣品臺 | ||
型 | Type IA 2 | Type II (Optional) | Type III (Optional) |
X-Y | 70mm×50mm | 110mm×80mm | 140mm×80mm |
傾斜 | -5° to ~+70° | -5° to ~+70° | -5° to ~+70° |
旋轉(zhuǎn) | 360°endless | 360°endless | 360°endless |
WD | 1.0mm ~ 40mm | 1.0mm ~ 40mm | 1.0mm ~ 40mm |
真空系統(tǒng) | Two SIPs, TMP, RP |