2單靶直流磁控濺射儀--VTC-16-SM

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公司名稱 中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司
品牌
型號(hào)
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間 2024/10/22 9:14:19
訪問次數(shù) 2098

產(chǎn)品標(biāo)簽

直流磁控濺射儀 MTI 江曉平

在線交流發(fā)送詢價(jià) 進(jìn)入商鋪同類產(chǎn)品

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公司介紹 主營(yíng)產(chǎn)品

　　合肥科晶材料技術(shù)有限公司成立于1997年，是由一群來自麻省理工學(xué)院和加州大學(xué)伯克利分校的材料研究人員創(chuàng)辦的美國(guó)MTI公司與中科院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院合資興辦的高新技術(shù)企業(yè)。主要生產(chǎn)氧化物晶體(A--Z)和材料實(shí)驗(yàn)室成套設(shè)備：包括“混料-壓料-燒料”(混料機(jī)、壓片機(jī)、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸、金剛石線切割機(jī)、自動(dòng)研磨、拋光機(jī))。公司自主研發(fā)生產(chǎn)上百款不同規(guī)格尺寸、溫度、高溫高壓及快速升溫等產(chǎn)品，其中包括：箱式爐、氣氛爐、管式爐、井式爐、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐、鍍膜機(jī)、清洗劑及新能源鋰離子電池研發(fā)等相關(guān)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備?，F(xiàn)已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的*，為科研工作者提供材料研究解決方案。產(chǎn)品設(shè)計(jì)*、性能優(yōu)異，質(zhì)量可靠，性價(jià)比高，環(huán)保節(jié)能、返修率低，遠(yuǎn)銷到歐洲，美國(guó)，日本，德國(guó)等許多國(guó)家，廣泛應(yīng)用于物理、化學(xué)、冶金、醫(yī)學(xué)、新能源材料研發(fā)等領(lǐng)域，受到客戶*好評(píng)。

　　科晶公司秉承"以人為本、技術(shù)為導(dǎo)、誠(chéng)信為基、積極創(chuàng)新"的經(jīng)營(yíng)理念,全力打造材料研發(fā)設(shè)備的品牌,竭力為科學(xué)進(jìn)步和社會(huì)發(fā)展做出貢獻(xiàn)。

展開

真空管式爐，高溫箱式爐，高速震動(dòng)球磨機(jī)，RTP快速退火爐，高溫高壓爐，涂覆機(jī)，電池制備設(shè)備等

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VTC-16-SM是一款桌面式等離子磁控濺射鍍膜儀，包含一個(gè)2英寸水冷靶頭和可旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，外形小巧，性價(jià)比高，是制作各種金屬薄膜理想的鍍膜設(shè)備，可選配各種金屬靶材和真空泵。

用直流磁控濺射儀可獲得單相Al膜

技術(shù)參數(shù)

輸入電壓	AC 208V ~ 240V, 50/60 Hz
輸入功率	< 2000W
輸出功率	電壓：1600VDC zui大電流：150mA
腔體	石英腔體：167mm OD. x 152mm ID x 260mm Height
濺射頭和樣品臺(tái)	2英寸帶水冷磁控濺射頭一個(gè)直徑50mm不銹鋼樣品臺(tái)，樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)速率0 - 5 RPM 配有一手動(dòng)操作的擋板，包含靶頭支撐架樣品臺(tái)和靶頭之間的距離可以調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍：60-100mm （點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料）
控制面板	6" PLC集成觸摸屏控制面板，可控制真空、電流、靶材位置和基片加熱溫度
附件（可選）	雙極旋片真空泵VRD-8，KF25接口 KF25不銹鋼波紋管 10L/min 循環(huán)水冷機(jī)冷卻磁控靶頭
氣氛	含一個(gè)控制進(jìn)氣的針閥和一個(gè)放氣閥
靶材	靶材尺寸: 50 mm dia. x 0.50 -2 mm 適合濺射Au,Ag,Cu,Al,Cr,Ti,Sn,Ni等金屬，可選購(gòu)
可選配件	膜厚監(jiān)測(cè)儀分子泵，可獲得高真空， >10E-5 torr 為獲得的薄膜強(qiáng)度，建議鍍膜前用等離子清洗機(jī)對(duì)基片進(jìn)行清洗。 500度樣品加熱臺(tái)
體積	( L 440mm×W 330mm × H 290mm
凈重	20 kg ( not included pump )
質(zhì)保和證書	一年質(zhì)保，終生維護(hù) CE認(rèn)證
磁控濺射鍍膜知識(shí)	與客戶分享的磁控濺射鍍膜技術(shù)，請(qǐng)點(diǎn)擊文章鏈接- Plasma Sputter Coating.

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