上海伯東代理德國(guó) Pfeiffer 新款氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340,應(yīng)用于航天科工集團(tuán)旗下某企業(yè)燃?xì)夤苈窓z漏.

燃?xì)夤苈酚糜谳斔吞烊粴?，一旦發(fā)生泄漏后果不堪設(shè)想，因此檢漏環(huán)節(jié)*。企業(yè)通常的檢漏方法是充入數(shù)十倍大氣壓（Bar、Kg）壓縮空氣于管路，再浸入水中，觀察是否有氣泡冒出。這種方法的優(yōu)勢(shì)是成本低廉，缺點(diǎn)是精度差、人工誤差大。

航天科工集團(tuán)旗下某企業(yè)*采用氦氣檢漏法，并引進(jìn)一套 KYKY 自動(dòng)化檢漏設(shè)備。該設(shè)備包括2個(gè)腔室、1個(gè)控制站和 Pfeiffer Splitflow 80 渦輪分子泵、Leybold 機(jī)械泵、Inficon 檢漏模塊以及充氮、充氦裝置。

以上方法用于快速判斷產(chǎn)品是否合格，但對(duì)于淘汰的產(chǎn)品無(wú)法找到準(zhǔn)確的漏點(diǎn)。為了*這一空白，客戶斥資采購(gòu)了一臺(tái)德國(guó)進(jìn)口 Pfeiffer ASM 340 氦質(zhì)譜檢漏儀。

經(jīng)過(guò)討論，采用真空檢漏方法，具體做法如下：

1. 在 ASM 340 抽氣入口處裝好夾具
2. 將管路插入夾具，另一頭用夾具堵死
3. 啟動(dòng) ASM 340，待數(shù)值穩(wěn)定時(shí)沿著管路噴氦氣
4. 如果有漏，檢漏儀會(huì)發(fā)出聲光報(bào)警，噴氦氣處即為漏點(diǎn)

ASM 340 檢漏儀由德國(guó) Pfeiffer *設(shè)計(jì)和制造，其配備的 Pfeiffer 分子泵廣泛應(yīng)用于友廠，如英?？?/SPAN> Inficon UL1000 檢漏儀、愛(ài)發(fā)科 Ulvac Heliot 檢漏儀、布魯克 Bruke 醫(yī)療設(shè)備、島津 Shimadzu 分析儀器等。

新款氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 特點(diǎn)：
1. 前級(jí)泵 Adixen Pascal 2015SD 抽速 15 m3/h

2. 分子泵 Pfeiffer Splitflow 50 對(duì)氦抽速 2.5 l/s

3. 檢漏精度：

真空模式：5E-13 Pa m3/s

吸嗅模式：5E-10 Pa m3/s

4. 移動(dòng)式操作面板（有線、無(wú)線）

5. 集成SD卡，方便資料處理

6. 抗破大氣、抗震動(dòng)，降低由操作失誤帶來(lái)的風(fēng)險(xiǎn)性

7. 豐富的可選配件，如吸槍、遙控器、小推車(chē)、旁路裝置、標(biāo)準(zhǔn)漏孔等

Pfeiffer 還有干式檢漏儀，如配置 Pfeiffer 隔膜泵 MVP 015 的 ASM 340D 檢漏儀 ，在半導(dǎo)體行業(yè)普遍使用的配置 Adixen ACP 28 干泵和小推車(chē)的 ASM 380 檢漏儀等。而工作臺(tái)式檢漏儀 ASM 1002 提供可選腔體讓諸如電子元件這樣的小產(chǎn)品得以快速方便的檢漏。

Pfeiffer 檢漏儀有廣泛的應(yīng)用，如科研杜瓦瓶檢漏、工業(yè)鍍膜機(jī)檢漏、電廠檢漏、消防器材檢漏、半導(dǎo)體 PECVD MOCVD 檢漏等。詳細(xì)的應(yīng)用案例請(qǐng)登錄 www.hakuto-vacuum。。ｃｎ 查看。

上海伯東提供生產(chǎn)與檢測(cè)配套方案，如給某磁控濺射企業(yè)配置了美國(guó)考夫曼公司 KRI 離子槍輔助鍍膜和 ASM 340 腔體檢漏；給某熱管企業(yè)配置了 ASM 340 檢漏儀和保壓罐、真空測(cè)試罐等。

伯東公司代理 Pfeiffer 產(chǎn)品已有40余年，年?duì)I業(yè)額超過(guò)13億美金，在中國(guó)上海、中國(guó)臺(tái)灣、日本、泰國(guó)等國(guó)家和地區(qū)建有維修據(jù)點(diǎn)。擁有一套完善的維修設(shè)備和備品配件，提供快速維修服務(wù)。

上海伯東主要經(jīng)營(yíng)產(chǎn)品：德國(guó)普發(fā) Pfeiffer 渦輪分子泵,干式真空泵,羅茨真空泵,旋片真空泵; 應(yīng)用于各種條件下的真空計(jì),真空規(guī)管; 氦質(zhì)譜檢漏儀,質(zhì)譜分析儀,四級(jí)桿質(zhì)譜儀;以及美國(guó) HVA 真空閥門(mén), Polycold 冷凍機(jī),Gamma 離子泵和美國(guó)考夫曼公司 KRI 離子源 離子槍 霍爾源等.

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上海伯東：孔

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