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施啟樂(lè)(廣州)儀器有限公司

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可自動(dòng)掃描等離子表面處理儀--GSL1100XPJF-A

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小型等離子清洗機(jī)

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  合肥科晶材料技術(shù)有限公司成立于1997年,是由一群來(lái)自麻省理工學(xué)院和加州大學(xué)伯克利分校的材料研究人員創(chuàng)辦的美國(guó)MTI公司與中科院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院合資興辦的高新技術(shù)企業(yè)。主要生產(chǎn)氧化物晶體(A--Z)和材料實(shí)驗(yàn)室成套設(shè)備:包括“混料-壓料-燒料”(混料機(jī)、壓片機(jī)、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸、金剛石線切割機(jī)、自動(dòng)研磨、拋光機(jī))。公司自主研發(fā)生產(chǎn)上百款不同規(guī)格尺寸、溫度、高溫高壓及快速升溫等產(chǎn)品,其中包括:箱式爐、氣氛爐、管式爐、井式爐、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐、鍍膜機(jī)、清洗劑及新能源鋰離子電池研發(fā)等相關(guān)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備。現(xiàn)已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的*,為科研工作者提供材料研究解決方案。產(chǎn)品設(shè)計(jì)*、性能優(yōu)異,質(zhì)量可靠,性價(jià)比高,環(huán)保節(jié)能、返修率低,遠(yuǎn)銷到歐洲,美國(guó),日本,德國(guó)等許多國(guó)家,廣泛應(yīng)用于物理、化學(xué)、冶金、醫(yī)學(xué)、新能源材料研發(fā)等領(lǐng)域,受到客戶*好評(píng)。
 
  科晶公司秉承"以人為本、技術(shù)為導(dǎo)、誠(chéng)信為基、積極創(chuàng)新"的經(jīng)營(yíng)理念,全力打造材料研發(fā)設(shè)備的品牌,竭力為科學(xué)進(jìn)步和社會(huì)發(fā)展做出貢獻(xiàn)。
 

真空管式爐,高溫箱式爐,高速震動(dòng)球磨機(jī),RTP快速退火爐,高溫高壓爐,涂覆機(jī),電池制備設(shè)備等

     GSL-1100X-PJF-A是等離子槍和可控制的樣品臺(tái)結(jié)合在一起的產(chǎn)品,有自動(dòng)控制的樣品臺(tái),就可使等離子槍按設(shè)定程序?qū)悠繁砻孢M(jìn)行更均勻涂覆和處理,保證處理樣品表面的*性和均勻性。此系統(tǒng)是由RF發(fā)生器、氣體傳輸管、等離子槍頭和X-Y移動(dòng)的工作臺(tái)(帶有真空吸盤(pán)和控制盒)。此系統(tǒng)產(chǎn)生等離子束可在非真空和低溫狀態(tài)下活化和清洗樣品表面,可處理的樣品有單晶片,光學(xué)元件和塑料等,也可在常壓下進(jìn)行等離子增強(qiáng)氣相沉積。

 

技術(shù)參數(shù)

輸入電源

208 V- 240VAC, 50/60 Hz, < 1000W

RF發(fā)生器

  • 輸出頻率:20-23kHz , 25KV
  • 等離子槍頭:儀器中包括兩種等離子槍頭:圓形頭:10-12mm,矩形頭:15-18mm

輸入氣體氣壓,工作氣體

  • 40 PSI min.(0.055 Mpa)
  • Air, N2, Ar, He 或混合氣體(不可通入易燃易爆氣體 )

等離子體工作壓力

7- 10 PSI

工作環(huán)境

溫度 < 42°C,濕度 ≤ 40℃RH

樣品臺(tái)和控制柜

  • 配有可在X-Y軸移動(dòng)的樣品臺(tái),通過(guò)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng),采用SBC控制盒控制
  • 可手動(dòng)調(diào)節(jié)樣品臺(tái)在Z軸方向上的移動(dòng)距離
  • 控制盒采用LCD顯示,可設(shè)置其等離子槍頭的掃描程序。
  • zui大掃描范圍:8" x 9"
  • 一個(gè)直徑為4"的真空吸盤(pán)安裝在X-Y樣品臺(tái)上,可吸住直徑為6"的樣品。
  • 配有一真空泵,可與真空吸盤(pán)相連接
  • 整個(gè)系統(tǒng)安裝在一移動(dòng)架上(600x600x 800Lmm
  • 可選:可選加熱樣品臺(tái)(zui高溫度可加熱到500℃),也可將設(shè)備放置在手套箱中操作。
      

尺寸&重量

  • 處理樣品臺(tái)尺寸:560mm L x483mm W x 609mm H
  • 等離子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H
  • 控制盒尺寸:330mm L x 305mm W x 152mm H
  • 重量:55kg
操作視頻點(diǎn)擊查看

質(zhì)保&質(zhì)量認(rèn)證

一年質(zhì)保期,終生維護(hù)

CE認(rèn)證

 



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