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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實驗室常用設(shè)備>恒溫/加熱/干燥>馬弗爐/電阻爐/實驗爐>-OTF-1200X-50-PE-S PECVD管式爐

-OTF-1200X-50-PE-S PECVD管式爐

具體成交價以合同協(xié)議為準

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  合肥科晶材料技術(shù)有限公司成立于1997年,是由一群來自麻省理工學(xué)院和加州大學(xué)伯克利分校的材料研究人員創(chuàng)辦的美國MTI公司與中科院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院合資興辦的高新技術(shù)企業(yè)。主要生產(chǎn)氧化物晶體(A--Z)和材料實驗室成套設(shè)備:包括“混料-壓料-燒料”(混料機、壓片機、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸、金剛石線切割機、自動研磨、拋光機)。公司自主研發(fā)生產(chǎn)上百款不同規(guī)格尺寸、溫度、高溫高壓及快速升溫等產(chǎn)品,其中包括:箱式爐、氣氛爐、管式爐、井式爐、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐、鍍膜機、清洗劑及新能源鋰離子電池研發(fā)等相關(guān)實驗室設(shè)備?,F(xiàn)已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實驗室設(shè)備的*,為科研工作者提供材料研究解決方案。產(chǎn)品設(shè)計*、性能優(yōu)異,質(zhì)量可靠,性價比高,環(huán)保節(jié)能、返修率低,遠銷到歐洲,美國,日本,德國等許多國家,廣泛應(yīng)用于物理、化學(xué)、冶金、醫(yī)學(xué)、新能源材料研發(fā)等領(lǐng)域,受到客戶*好評。
 
  科晶公司秉承"以人為本、技術(shù)為導(dǎo)、誠信為基、積極創(chuàng)新"的經(jīng)營理念,全力打造材料研發(fā)設(shè)備的品牌,竭力為科學(xué)進步和社會發(fā)展做出貢獻。
 

真空管式爐,高溫箱式爐,高速震動球磨機,RTP快速退火爐,高溫高壓爐,涂覆機,電池制備設(shè)備等

OTF-1200X-50-PE-S是一款小型的PE-CVD(等離子體氣相沉積)管式爐系統(tǒng)。此套設(shè)備帶有500W的等離子射頻電源,一個爐管直徑為50mm的開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)和一個直聯(lián)式雙旋機械泵。因此這套設(shè)備模型可以更新為不同的PECVD  系統(tǒng)。對于有限的經(jīng)費的情況下來進行材料探索,此套系統(tǒng)極為理想。

 

特征:

1、與普通CVD相比可以在低溫環(huán)境下進行氣相沉積實驗

2、對于薄膜的應(yīng)力可以通過射頻電源的頻率來進行控制

3、通過工藝調(diào)節(jié)來控制化學(xué)計量

4、能夠廣泛地用于各種材料沉積,如SiOx, SiNx, SiOxNy 和無定型硅(a-Si:H) 等.

 

技術(shù)參數(shù)

開啟式管式爐

  • 輸入電源:208 – 240V AC, 1.2kW
  • zui高工作溫度1200℃(小于1小時)
  • 連續(xù)使用溫度1100
  • 采用高純氧化鋁作為爐膛材料,并且表面涂有美國進口高溫氧化鋁涂層,可延長儀器使用壽命和提高加熱效率
  • 高純石英爐管,尺寸為 50mmOD x 44mmID x  780mmL
  • 可設(shè)置30段升降溫程序,并帶有過熱和斷偶保護
  • 加熱區(qū)長度為200mm,恒溫區(qū)長度為60mm(+/-1°C)

      
                 
    (點擊圖片查看詳細資料)

等離子體射頻電源

  • 輸出功率: 5 -500W可調(diào)
  • 穩(wěn)定性為+/-1%
  • 射頻電源頻13.56 MHZ, 穩(wěn)定性±0.005% 
  • zui大反向功率: 200W max
  • 射頻電源電子輸出口: 50 Ω, N型半島體陰極
  • 噪聲<50 dB.
  • 冷卻方式:空氣冷卻
  • 輸入電源: 208-240VAC, 50/60Hz  
     

真空法蘭和接頭

  • 真空法蘭采用304不銹鋼制作
  • 左端法蘭上安裝有防腐型數(shù)字真空計、不銹鋼針閥和一個球閥。
  • 右端法蘭設(shè)計為KF25接口,上面配有泄氣閥,擋板閥和兩個KF25卡箍
  • 儀器中所配的數(shù)字真空計,可以不用因使用氣體的不同而進行校正,同時還具有防腐功能(請點擊圖片查看詳細介紹)

      

真空泵

  • AC 220V 50 Hz  1/2HP  375W
  • 2L/s
  • 與本公司管式爐配套使用,可使其真空度達到10-2 torr
  • 進氣端帶有儲氣球(防止回油),出氣端安裝有油霧過濾器(防止油霧擴散到空氣中,保護環(huán)境和人體健康)
     

產(chǎn)品尺寸和重量

外形尺寸:1500mm x 600mm x 1200mm( L x W x H)

凈重: 160 lbs

可選配置

請點擊查看下面的混氣及氣液混合系統(tǒng)

  • 防腐型小型三路浮子混氣系統(tǒng)
  • 精密氣液混合系統(tǒng)
  • 三路質(zhì)子混氣系統(tǒng)

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終生維護(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件)

質(zhì)量認證

CE Certified



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