一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
1200℃單溫區(qū)三路氣體CVD系統(tǒng)（配快速接頭）主要由：1200型單溫區(qū)豪華型管式爐、 三路氣體質(zhì)子流量計(jì)、CY-4C真空泵和不銹鋼真空管道、等組成；氣路管道采用304拋光管制作耐腐蝕性強(qiáng),內(nèi)壁潔凈,不易污染氣體.氣路接頭采用全不銹 鋼雙卡套快速接頭,方便連接,不易泄漏.。廣泛用于各種反應(yīng)溫度在1100℃左右的CVD實(shí)驗(yàn)；也可用于：真空燒結(jié)、真空氣氛保護(hù)燒結(jié)、納米材料制備、電 池材料制備等多研究領(lǐng)域。

二、主要特點(diǎn)：
1.該爐體采用上下“分-合”結(jié)構(gòu)，易于取放爐管；
2.爐膛內(nèi)部設(shè)計(jì)有對(duì)流柵格，爐體內(nèi)部氣流容易形成上下對(duì)流循環(huán)，有利于爐溫平衡，溫場(chǎng)均勻。
3.整個(gè)爐體采用雙層內(nèi)膽式結(jié)構(gòu)，中間有氣隙隔離，即使?fàn)t膛溫度高達(dá)1100℃，爐體表面仍然可以安全觸摸無(wú)滾燙感覺。
4.爐膛采用進(jìn)口節(jié)能材料制作，整機(jī)能耗僅僅只有同等傳統(tǒng)電爐的1/3，節(jié)能環(huán)保。
5.爐膛加熱元件呈圓周狀軸向均勻分布，并且發(fā)熱元件已做內(nèi)嵌式固化，加熱時(shí)熱能輻射均勻溫和。
6.爐體配有：輸出電壓和輸出電流監(jiān)測(cè)表，爐子加熱狀態(tài)一目了然。
7.每臺(tái)爐子出廠時(shí)：熱點(diǎn)偶都已做嚴(yán)格的測(cè)溫校驗(yàn)，不合格品嚴(yán)禁出廠。
8.每臺(tái)爐子的控溫系統(tǒng)出廠前都經(jīng)過低溫，中溫，高溫的老化測(cè)試，確保產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定可靠。
9.氣路管道采用304拋光管制作耐腐蝕性強(qiáng),內(nèi)壁潔凈,不易污染氣體.氣路接頭采用全不銹鋼雙卡套快速接頭,方便連接,不易泄漏.可以外接三種氣體。
10.真空泵為雙擊旋片式，可以長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作，并配有油氣過濾器，可以很好的凈化油氣，防止污染。

三、技術(shù)參數(shù)：