SU8000系列 日立新型高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱(chēng) 昂奇科技(上海)有限公司
- 品牌
- 型號(hào) SU8000系列
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2018/5/14 9:00:00
- 訪問(wèn)次數(shù) 914
產(chǎn)品標(biāo)簽
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特點(diǎn):
1. 優(yōu)秀的低加速電壓成像能力,1kv分辨率可達(dá)1.3nm
2. 日立的ExB設(shè)計(jì),不需噴鍍,可以直接觀測(cè)不導(dǎo)電樣品
3. 配置Lower、Upper和Top三個(gè)Everhart-Thornley型探測(cè)器
4. Upper和Top探頭均可選擇接受二次電子像或背散射電子像
5. 可以根據(jù)樣品類(lèi)型和觀測(cè)要求選擇打開(kāi)或關(guān)閉減速功能
6. 標(biāo)配有冷指、電子槍內(nèi)置加熱器,物鏡光闌具有自清潔功能
7. 儀器的烘烤維護(hù)及烘烤后的透鏡機(jī)械對(duì)中均可由用戶(hù)自行完成
項(xiàng)目 | SU8020 | SU8030 | SU8040 | |||||
二次電子分辨率 | 1.0nm (加速電壓15kV、WD=4mm) | |||||||
1.3nm (加速電壓1kV、WD=1.5mm) | ||||||||
加速電壓 | 0.1~30kV | |||||||
觀測(cè)倍率 | 20~8000,000(底片輸出) | |||||||
60~2,000,000(顯示器輸出) | ||||||||
樣品臺(tái) | ||||||||
馬達(dá)驅(qū)動(dòng) | 5軸 | REGULUS樣品臺(tái) | ||||||
行程 | X | 0~50mm | 0~110mm | |||||
Y | 0~50mm | 0~110mm | 0~80mm | |||||
Z | 360° | |||||||
T | -5~70° | |||||||
R | 1.5~30mm | 1.5~40mm | ||||||
zui大裝載尺寸 | 100mm(zui大) | 150mm(zui大) | 150mm(zui大) | |||||
150mm(選配) | 200mm(選配) | |||||||
探頭 | ||||||||
標(biāo)配 | Lower | 高立體感圖像 | ||||||
Upper | 高分辨SE、LA-BSE圖像 | |||||||
Top | SE的電位襯度像、HA-BSE圖像 | |||||||
選配 | STEM | 明場(chǎng)像、暗場(chǎng)像 | ||||||
YAG 探頭 | BSE圖像 | |||||||
半導(dǎo)體探頭 | BSE圖像 | |||||||
EBIC | 電子束感生電流圖像 | |||||||
EDS | 元素分析 | |||||||
反污染措施 | ||||||||
冷指 | 標(biāo)配 | |||||||
物鏡光闌 | 內(nèi)置自清潔功能 | |||||||
電子槍 | 內(nèi)置加熱器 | |||||||
真空系統(tǒng) | ||||||||
離子泵 | 3臺(tái) | |||||||
分子泵 | 1臺(tái) | |||||||
機(jī)械泵 | 1臺(tái) |