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實(shí)時(shí)原位薄膜應(yīng)力儀
- 公司名稱 北京三友鼎盛科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2017/7/20 23:52:09
- 訪問次數(shù) 629
薄膜應(yīng)力測(cè)量系統(tǒng)薄膜應(yīng)力測(cè)試儀薄膜應(yīng)力計(jì)薄膜應(yīng)力儀
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GC,GPC,HPLC,實(shí)驗(yàn)室儀器，生命科學(xué)儀器，光學(xué)儀器，化學(xué)分析儀器，物性測(cè)試儀器，環(huán)保設(shè)備等
實(shí)時(shí)原位薄膜應(yīng)力儀：同樣采用*的MOS技術(shù)，可裝在各種真空沉積設(shè)備上（如：MBE, MOCVD, sputtering, PLD, PECVD, and annealing chambers ects），對(duì)于薄膜生長(zhǎng)過程中的應(yīng)力變化進(jìn)行實(shí)時(shí)原位測(cè)量和二維成像分析；
技術(shù)參數(shù)：
薄膜應(yīng)力測(cè)量系統(tǒng)，薄膜應(yīng)力測(cè)試儀，薄膜應(yīng)力計(jì)，薄膜應(yīng)力儀，Film Stress Tester, Film Stress Measurement System;
1.XY雙向程序控制掃描平臺(tái)掃描范圍：200mm；300mm (XY)（可選）；
2.XY雙向掃描速度：zui大20mm/s；
3.XY雙向掃描平臺(tái)掃描zui小步進(jìn)/分辨率：2 μm ；
4.薄膜應(yīng)力測(cè)量范圍：5×105到4×1010dynes/cm2（或者5×104Pa to 4×109Pa）；
5.薄膜應(yīng)力測(cè)量分辨率：優(yōu)于0.1MPa;
6.測(cè)量精度：優(yōu)于±0.1%；
7.測(cè)量重復(fù)性：優(yōu)于0.1%；
8.平均曲率分辨率：< 2e-5 (1/m) 1-sigma (100km radius) ；
9.平均曲率重復(fù)性：<2×10e-5 1/m；
主要特點(diǎn)：
1.程序化控制掃描模式：?jiǎn)吸c(diǎn)掃描、選定區(qū)域、多點(diǎn)線性掃描、全面積掃描；
2.成像功能：樣品表面2D曲率成像，定量薄膜應(yīng)力2D成像分析；
3.測(cè)量功能：薄膜應(yīng)力、翹曲、曲率半徑等；
4.支持變溫?zé)釕?yīng)力測(cè)量功能，溫度范圍-65C to 1000C；
5.薄膜殘余應(yīng)力測(cè)量；
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