實(shí)驗(yàn)室超純水在電阻率、有機(jī)物含量、顆粒和細(xì)菌含量方面接近理論上的純度極限，通過(guò)離子交換、RO膜或蒸餾手段預(yù)純化，再經(jīng)過(guò)核子級(jí)離子交換精純化得到超純水。通常超純水的電阻率可達(dá)18.2 MΩ.cm，TOC <10 ppb，濾除0.1 μm甚至更小的顆粒，細(xì)菌含量低于1 CFU/ml。超純水適合多種精密分析實(shí)驗(yàn)的需求，如高效液相色譜(HPLC)、離子色譜(IC)和離子捕獲-質(zhì)譜(ICP-MS)。

　　實(shí)驗(yàn)室超純水機(jī)的工作原理是自來(lái)水經(jīng)過(guò)精密濾芯和活性炭濾芯進(jìn)行預(yù)處理，過(guò)濾泥沙等顆粒物和吸附異ζ等，讓自來(lái)水變得更加干凈，然后再通過(guò)反滲透裝置進(jìn)行水質(zhì)純化脫鹽，純化水進(jìn)入儲(chǔ)水箱儲(chǔ)存起來(lái)，其水質(zhì)可以達(dá)到國(guó)家三級(jí)水標(biāo)準(zhǔn)，同時(shí)反滲透裝置產(chǎn)水的廢水排掉。

　　反滲透純水通過(guò)純化柱進(jìn)行深度脫鹽處理就得到一級(jí)水或者超純水，zui后如果用戶有特殊要求，則在超純水后面加上紫外殺菌或者微濾、超濾等裝置，除去水中殘余的細(xì)菌、微粒、熱源等。精密濾芯、活性炭濾芯、反滲透膜、純化柱都是具有相對(duì)壽命的材料，精密濾芯和活性炭濾芯實(shí)際上是對(duì)反滲透膜的保護(hù)，如果它們失效，那ô反滲透膜的負(fù)荷就加重，壽命減短，如果繼續(xù)開(kāi)機(jī)的話，那產(chǎn)生的純水水質(zhì)就下降，隨之就加重了純化柱的負(fù)擔(dān)，則純化柱的壽命就會(huì)縮短。zui終結(jié)果是加大了超純水機(jī)的使用成本。