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C2GR16-氣相沉積爐

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 上海皓越真空設(shè)備有限公司(簡稱皓越科技)是一家集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售電爐為一體的高新技術(shù)企業(yè)。公司地處中國經(jīng)濟(jì)發(fā)達(dá)上海,已擁有大型現(xiàn)代化標(biāo)準(zhǔn)廠房,成套的加工設(shè)備,完善的質(zhì)量檢測體系;匯萃了一批長期從事熱處理爐、真空爐及特種爐制造和服務(wù)的技術(shù)精英,其中,研究生、本科以上學(xué)歷的工程技術(shù)人員26人,技術(shù)工人65余人的精英團(tuán)隊,具備年產(chǎn)200套熱處理爐、60套大型真空爐的生產(chǎn)能力。并與上海復(fù)旦大學(xué)、上海同濟(jì)大學(xué)建立了長期友好的科技合作與人才培養(yǎng)基地。

公司一直專注于半導(dǎo)體材料、碳材料、復(fù)合材料和鋰電材料四大領(lǐng)域,積累了豐富的行業(yè)經(jīng)驗和技術(shù),竭誠服務(wù)于客戶,提供完善的一體式產(chǎn)業(yè)解決方案。

在半導(dǎo)體材料領(lǐng)域,皓越科技致力為客戶提供晶體生長設(shè)備和高溫退火設(shè)備,適用于藍(lán)寶石、碳化硅、氮化鎵和氮化鋁晶體的生長和退火。還推出氧化/擴(kuò)散爐、LPCVD/PECVD等薄膜生長摻雜設(shè)備以及晶圓快速熱處理RTP設(shè)備。

在碳材料領(lǐng)域,皓越科技擁有提供石墨烯、碳納.米管的CVD及PECVD成套生長系統(tǒng),并提供金剛石工具生產(chǎn)用真空爐和熱壓爐,以及碳材料用高溫石墨化爐等。

在鋰電材料領(lǐng)域,我們?yōu)榭蛻籼峁┻B續(xù)正極材料生產(chǎn)窯爐,有輥道窯、推板窯等,以及用于負(fù)極材料生產(chǎn)用真空爐等。

在陶瓷基復(fù)合材料領(lǐng)域,擁有碳化硅陶瓷的無壓燒結(jié)、反應(yīng)燒結(jié)和重結(jié)晶燒結(jié)設(shè)備,氮化硅粉體合成爐以及陶瓷制品燒結(jié)爐,碳化硼陶瓷熱壓燒結(jié)爐等。

上海皓越真空設(shè)備有限公司所提供的產(chǎn)品技術(shù)先進(jìn),質(zhì)量可靠,品種齊全。公司成立以來在市場上巳獲得用戶認(rèn)可,其產(chǎn)品質(zhì)量及服務(wù)獲得用戶的肯定,我們的優(yōu)勢不僅體現(xiàn)在高精度的溫度控制領(lǐng)域,更多的是我們在工藝、真空,自動化控制及計算機(jī)溫度分析系統(tǒng)有杰出的人才。

皓越人的愿景:成為新材料、新能源熱處理領(lǐng)域。
皓越人的使命:推動新材料、新能源領(lǐng)域的快速發(fā)展;為新材料、新能源行業(yè)提供熱處理解決方案。
皓越人的價值觀:
客戶為天:一切技術(shù)創(chuàng)新和服務(wù)理念均以客戶的需求為導(dǎo)向,我們堅持以客戶為主要,持續(xù)為客戶創(chuàng)造價值,積極、快速的響應(yīng)客戶需求。為客戶提供服務(wù),是我們的工作方向和價值*,成就客戶就是成就我們自己。
誠信為本:只有堅持誠信為本,才能言出必行,信守承諾。誠信是我們很重要的無形資產(chǎn),皓越人堅持以誠信贏得客戶。
創(chuàng)新為先:為了更好的滿足客戶需求,我們需要積極進(jìn)取、勇于開拓與創(chuàng)新。任何先進(jìn)的技術(shù)、產(chǎn)品、解決方案只有轉(zhuǎn)化為商業(yè)成功才能產(chǎn)生價值。我們堅持以客戶需求為導(dǎo)向,并圍繞客戶需求持續(xù)創(chuàng)新。
合作為贏:為了實現(xiàn)客戶需求,除了持續(xù)創(chuàng)新,我們還要與供應(yīng)商、合作商密切合作,只有合作才能實現(xiàn)雙贏,合作是提升流程效率的有力保障。
發(fā)展為道:一切努力與奮斗,為了發(fā)展,我們成就了客戶,自身也在發(fā)展。發(fā)展是硬道理,只有持續(xù)發(fā)展,我們與客戶才能攜手進(jìn)步,員工與企業(yè)才能實現(xiàn)夢想。
皓越人的行為準(zhǔn)則:

三大作風(fēng):認(rèn)真,快,堅守承諾;

一個目標(biāo):客戶滿意100;

一個保證:保證完成任務(wù)。

皓越選人用人理念:

用對人,做對事!得人才者得天下!一切競爭,歸根結(jié)底是人才競爭。選人用人,關(guān)乎皓越的成?。话押线m的人放在合適的崗位上。

真空熱壓爐,真空燒結(jié)路,真空熔煉路,SPS等離子燒結(jié)爐,SIP氣氛壓力燒結(jié)爐等

一、C2GR16-氣相沉積爐基本原理與特點

1.基本原理:
熱誘導(dǎo)化學(xué)氣相沉積(英語:chemical vapor deposition ,CVD)是用于各種電介質(zhì),半導(dǎo)體和金屬材料的保護(hù)涂層的沉積的有力方式,無論是單晶,多晶,無定形或外延狀態(tài)上或大或小的形態(tài)。典型的涂層材料包括熱解碳,碳化硅,氮化硼。通過使用合成前體,涂層非常純凈并目滿足半導(dǎo)體工業(yè)的典型要求,根據(jù)工藝參數(shù),可以有多種層厚度,從單個或幾個原子層到厚度從10納米到數(shù)百微米的固體保護(hù)層或功能層,以及厚度達(dá)100微米的單片部件,甚至高達(dá)數(shù)毫米。

2.設(shè)備特點:
(1)采用臥式、側(cè)開門結(jié)構(gòu),裝、卸料精度高,操作方便;
(2)采用先進(jìn)的控制技術(shù),能精密控制MTS的流量和壓力,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動范圍小;
(3)溫度均勻性好,平均溫度均勻性為±5℃;
(4)采用多通道沉積氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;
(5)全封閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);
(6)安全性能好,采用HMI+PLC+PID程序控制,安全可靠;
(7)對沉積產(chǎn)生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產(chǎn)物能進(jìn)行有效處理;
(8)多級高效尾氣處理系統(tǒng),環(huán)境友好,能高效收集焦油及副產(chǎn)物,易清理;
(9)采用設(shè)計防腐蝕真空機(jī)組,持續(xù)工作時間長,維修率極低。

二、C2GR16-氣相沉積爐主要技術(shù)參數(shù):

1 編號 C2GR16
2 產(chǎn)品型號 VHCgr-20/20/30-1600
3 最高設(shè)計溫度(℃) 1600
4 加熱元件 等靜壓石墨
5 加熱功率(kW) 45
6 冷態(tài)極限真空度(Pa) 6.7x10-3Pa(空爐、冷態(tài)、經(jīng)凈化)
7 測溫元件 鎢錸熱電偶
8 升溫速率 1~20℃/min
9 溫度均勻性 ±5℃(5點測溫,恒溫區(qū)1000℃保溫1h后檢測)
10 爐膛尺寸(mm) 200x200x300(WxHxD)
11 可通入氣氛 1路CH3SiCI3、1路氨氣、1路氫氣、1路氮氣
12 氣氛流量計 4路質(zhì)量流量計
13 設(shè)備外形尺寸(mm) 1425x1550x1850mm(LxWxH)

 

三、化學(xué)氣相沉積爐(CVD氣相沉積爐)產(chǎn)品展示圖:

C2GR16-氣相沉積爐

C2GR16-氣相沉積爐

 

 

 

 



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