型號

SNE-3000MB

SNE-3200M

SNE-4500M

電子光學(xué)系統(tǒng)

解析度

20nm （30kV, BSE Image）

15nm （30kV, SE Image）
20nm （30kV, BSE Image）

5nm （30kV, SE Image）

放大倍率

30X~30,000X

30X~60,000X

30X~100,000

加速電壓

5~30kV （5 / 10 / 15 / 20 / 30 - 5 Steps）

觀察模式

標(biāo)準(zhǔn)模式
帶電減輕模式

標(biāo)準(zhǔn)模式
帶電減輕模式

標(biāo)準(zhǔn)模式

信號偵測

背散射電子影像（BSE）

二次電子影像（SEI）
背散射電子影像（BSE）

二次電子影像（SEI）
可選購背散射電子影像（BSE）

載臺系統(tǒng)

Stage Traverse

3-軸系統(tǒng)
- X, Y-軸:20mm / R-axis:360°
影像偏移Image 
Shift:±100um

5-軸系統(tǒng)
- X, Y-軸:40mm / R-axis:360°
T-軸:0 to 45°
Z-軸:0 to 35mm 
影像偏移Image Shift:±100um

zui大樣品尺寸

50mm 直徑 x 20mm 高

80mm 直徑 x 35mm 高

顯示

畫面紀(jì)憶

高速模式 （320x240） : 10 畫面/sec （預(yù)覽Preview）
低速模式 （640x480） : 1 畫面/sec
相片模式 1 （1280x960） : 1 畫面/min
高速模式 2 （2560x1920） : 1 畫面/min

自動功能

自動對焦, 自動像散, 自動對比與亮度

影像格式

BMP, JPG, PNG

資料顯示

放大倍率, 偵測器型式, 加速電壓, 真空模式, 文字Logo, 日期時間, 尺標(biāo)

真空系統(tǒng)

真空模式

高&低真空系統(tǒng)

高真空系統(tǒng)

真空幫浦

旋轉(zhuǎn)幫浦 渦輪分子幫浦

操作電腦

作業(yè)系統(tǒng)

Microsoft Windows® 7

*處理器

IN® Core™ i5

記憶體/硬碟

2GB / 500GB

介面連接

USB 2.0

尺寸和重量

主體

300（W）x640（D）x560（H） mm, 90kg

390（W）x330（D）x560（H） mm, 98kg
390（W）x310（D）x560（H） mm, 18kg（Controller）

旋轉(zhuǎn)幫浦

400（W）x190（D）x340（H） mm

安裝環(huán)境

室溫 : 15℃~30℃ / 濕度 : 70% 或更低 / 電源 : 單相 100-240 VAC, 1KW, 50/60 Hz