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超高真空排氣臺

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超高排氣臺; 真空爐;鍍膜機; 空間濾波器; 橢偏儀;真空泵; 等離子束濺射鍍膜;電子槍; 射頻電源;全光譜光學(xué)膜厚監(jiān)測儀;磁控濺射陰極靶及濺射靶材;真空計;檢漏儀;四極質(zhì)譜; 真空閥門

用于電真空器件的排氣工藝過程

極限真空度3×10-7Pa~5×10-9Pa

烘箱zui高溫度:600℃. 程序溫控精度<±1℃

有單工位、雙工位、多工位等多種型號

有不同尺寸的多種型號



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