FB2200聚焦離子束系統(tǒng)
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 日立科學儀器有限公司
- 品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2017/8/15 14:52:02
- 訪問次數(shù) 1950
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FB2200聚焦離子束系統(tǒng) 超薄樣品制備附件
該附件用于制備STEM,TEM等觀察用的超薄樣品,它是在FIB真空樣品倉內通過離子束定點切割晶圓的目標位置,并用操縱器將超薄樣品提出來的一種系統(tǒng)。使用該附件可以大大提高樣品制備的位置精度,同時樣品制備時間也縮短到半小時以內。(該技術已經(jīng)在日本和美國申請了)。
三維分析樣品桿 聚焦離子束系統(tǒng)
使用該旋轉樣品桿可在STEM和FIB上觀察用FIB系統(tǒng)加工出來的微小柱狀樣品。,該三維旋轉樣品桿可有效適用于小型化電子設備三維結構評估以及立體故障分析。
CAD導航系統(tǒng)
故障分析導航系統(tǒng)(NASFA)
該導航系統(tǒng)可以將CAD數(shù)據(jù)的布線和大規(guī)模集成電路的設計圖形和FIB的觀察圖像相對應起來。當CAD系統(tǒng)中的坐標位置,樣品臺就會通過鏈接移動到相應位置,就可以獲得相應位置的SIM圖像。同時,CAD數(shù)據(jù)和SIM圖像也可以重疊顯示。因此,很容易檢查到下層布線的狀態(tài),實質上提高了分析的效率,有利于進一步進行修理工作。
聚焦離子束系統(tǒng)