掃描電鏡原理：

          掃描電鏡zui基本的功能是對各種固體樣品表面進行高分辨形貌觀察。大景深圖像是掃描電鏡觀察的特色，應用于生物學、植物學、地質學、冶金學等領域。觀察可以是一個樣品的表面，也可以是一個切開的面，或是一個斷面。冶金學家已興奮地直接看到原始的或磨損的表面?？梢院芊奖愕匮芯垦趸锉砻?，晶體的生長或腐蝕的缺陷。它一方面可更直接地檢查紙，紡織品，自然的或制備過的木頭的細微結構，生物學家可用它研究小的易碎樣品的結構。例如：花粉顆粒，硅藻和昆蟲。另一方面，它可以拍出與樣品表面相應的立體感強的照片。
    在掃描電鏡應用中，很多集中在器件和方面，它可以很詳細地檢查器件工作時局部表面電壓變化的實際情況，這是因為這種變化會帶來象的反差的變化。焊接開裂和腐蝕表面的細節(jié)或相互關系可以很容易地觀察到。利用束感生電流，可以觀測半導體P—N結內部缺陷。
    電子束與樣品作用區(qū)內，還發(fā)射與樣品物質其他性質有關信號。例如：與樣品化學成分分布相關的，背散射電子，特征X射線，俄歇電子，陰極熒光，樣品吸收電流等；與樣品晶體結構相關的，背散射電子衍射現象的探測；與半導體材料電學性能相關的，二次電子信號、電子束感生電流信號；在觀察薄樣品時產生的透射電子信號等。目前分別有商品化的探測器和裝置可安裝在掃描電鏡樣品分析室，用于探測和定性定量分析樣品物質的相關信

掃描電鏡的參數：

    掃描電鏡對于固體材料的研究應用非常廣泛，沒有任何一種儀器能夠和其相提并論。對于固體材料全面特征的描述，掃描電鏡是至關重要的。
    保證分辨率 3.0nm（30kV）8.0nm（3kV）15nm（1kV）
    放大倍數 5至300,000x
    加速電壓 0.5kV至30kV
    電子槍 工廠預對中燈絲
    聚光鏡 變焦聚光鏡
    物鏡 錐形物鏡
    樣品臺 全對中樣品臺
    X-Y 80mm-40mm
    Z 5mm至48mm
    旋轉 360°
    傾斜 －10°至＋90°
    排氣系 （高真空模式） DPx1，RPx1
    排氣系統(tǒng) （低真空模式） DPx1，RPx2
    JSM-6510A/ JSM-6510LA分析型掃描電子顯微鏡，與日本電子公司的元素分析儀（EDS），統(tǒng)合于一體。結構緊湊的EDS由顯微鏡主體系統(tǒng)的電腦控制，操作員只用一只鼠標，就可完成從圖像觀測到元素分析的整個過程。
    操作窗口
    直觀的操作界面的設計，簡明易懂便于迅速掌握操作。
    支持多用戶
    單個用戶可以根據常用功能設置相應的圖標，營造快捷的操作環(huán)境。用戶登錄時，即可加載已注冊過的設定。
    同時顯示兩幅圖像
    畫面上并列顯示二次電子成像和背散射電子成像這兩種實時圖像?？赏瑫r觀察樣品的形貌和組成分布。
    微細結構測量
    適合于多種測量功能?？稍谟^察圖像上直接進行測量。也可將測量結果貼至SEM圖像，保存在文件中。
    標準的全對中樣品臺，能收錄三維照片
    3D Sight（選配件），能夠進行平面測量和高度測量，實現立體俯視圖。
    從圖像觀察到元素分析，配合連貫一條龍
    分析型掃描電子顯微鏡配備兩臺監(jiān)視器，一臺用于SEM圖像觀察和另一臺用于元素分析（EDS）。一只通用鼠標即可同時控制兩臺監(jiān)視器。大尺寸畫面使操作更加簡便與舒適。
    維護簡便
    工廠預置中心燈絲，十分便于更換。因此，可*保持穩(wěn)定的高性能。此外，操作界面還能以映像形式顯示燈絲維護的步驟說明。
    可信賴的真空系統(tǒng)
    真空系統(tǒng)使用高性能的擴散泵保證了潔凈的高真空狀態(tài)。擴散泵內部無活動部件，體現了操作穩(wěn)定，維護簡便的特色。