35 紫外光刻機
參考價 | ¥ 250000 |
訂貨量 | ≥1 |
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 鑫有研電子科技有限公司
- 品牌
- 型號 35
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2016/4/7 14:07:52
- 訪問次數(shù) 512
產(chǎn)品標(biāo)簽
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URE-2000系列 紫外光刻機
型號:URE-2000/35
簡單介紹:光刻機:(英文名:Mask ALIGENER)又名曝光機, 該型號光刻機創(chuàng)新采用三柔性支點實現(xiàn)高精度自動調(diào)平;真空接觸自動曝光;樣片升降、調(diào)平、接觸、曝光、復(fù)位實現(xiàn)自動化控制;采用技術(shù)積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明;可連續(xù)設(shè)定分離間隙;采用雙目雙視場顯微鏡實現(xiàn)高對準精度。整機具有性能可靠、操作方便、自動化程度高等特點。
一.技術(shù)特征——非常適合工廠(效率高,操作傻瓜型,自動型)
和高校教學(xué)科研(可靠性好,演示方便)
采用技術(shù)——積木錯位蠅眼透鏡平滑衍射效應(yīng)和實現(xiàn)均勻照明;
1、采用三爪和球氣浮同時找平,無論大片、小片調(diào)平精度均高;
2、具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能;
3、自動分離對準間隙和消除曝光間隙,間隙分離可達500μm;
4、高倍率雙目雙視場顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準過程,
采用技術(shù)——積木錯位蠅眼透鏡平滑衍射效應(yīng)和實現(xiàn)均勻照明;
1、采用三爪和球氣浮同時找平,無論大片、小片調(diào)平精度均高;
2、具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能;
3、自動分離對準間隙和消除曝光間隙,間隙分離可達500μm;
4、高倍率雙目雙視場顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準過程,
并提供USB輸出;既滿足高精度對準,又可用于檢測曝光結(jié)果,且曝光結(jié)果和
方便存儲;
5、電機機構(gòu)、彈性元件和傳感器保證接觸曝光壓力合適且重復(fù)性好;
7、曝光波長采用純凈365nm,冷光照明(曝光面能量15mW/cm ,溫度小于30度);
8、對準完成,自動消除曝光間隙,無橫向漂移且可通過監(jiān)視器觀察;
9、快門可以單獨開啟,也可以數(shù)字設(shè)定自動倒計時曝光(設(shè)定范圍0.1s-9999.9s);
10、采用350W進口(德國)直流汞燈,可調(diào)節(jié)光的能量密度;
11、汞燈具有高亮度和“待機”兩種方式,即曝光時采用高亮度照明,而不曝光
5、電機機構(gòu)、彈性元件和傳感器保證接觸曝光壓力合適且重復(fù)性好;
7、曝光波長采用純凈365nm,冷光照明(曝光面能量15mW/cm ,溫度小于30度);
8、對準完成,自動消除曝光間隙,無橫向漂移且可通過監(jiān)視器觀察;
9、快門可以單獨開啟,也可以數(shù)字設(shè)定自動倒計時曝光(設(shè)定范圍0.1s-9999.9s);
10、采用350W進口(德國)直流汞燈,可調(diào)節(jié)光的能量密度;
11、汞燈具有高亮度和“待機”兩種方式,即曝光時采用高亮度照明,而不曝光
時采用低亮度的“待機”,從而延長了汞燈壽命。
12、設(shè)備外形美觀精制,性能非??煽?;
13、上下片、版十分方便,自動化程度很高,操作簡便。
12、設(shè)備外形美觀精制,性能非??煽?;
13、上下片、版十分方便,自動化程度很高,操作簡便。
二.技術(shù)參數(shù)
1、曝光面積:100mm×100mm(可升級6英寸)
2、分辨力:0.8-1µm(膠厚2mm的正膠)
3、對準精度::±0.8µm
4、掩模樣片整體運動范圍:X:6mm;Y:6mm
5、掩模尺寸:2.5寸、3寸、4寸、5寸
6、樣片尺寸直徑Ф15mm--Ф100mm(可適應(yīng)非標(biāo)準片或碎片)
7、厚度0.1mm--6mm(可擴展為15mm)
8、照明均勻性:±3%(Ф100mm范圍)
9、掩模相對于樣片運動行程: X:±5mm; Y:±5mm; θ: ±6度
10、汞燈功率:350W(直流)
11、曝光波長:365nm(進口汞燈)
12、曝光能量密度:15mW/cm 可以根據(jù)需要增強或調(diào)弱(420nm以上波長小于0.1mW/cm )
13、曝光方式:定時(到計時方式0.1s—9999.9s)
應(yīng)用領(lǐng)域
集成電路芯片、電子封裝、微電子機械系統(tǒng)、微光學(xué)元件、紅外探測器生物電泳芯片、激光二極管光刻、光柵光刻,波導(dǎo)陣列光刻、液晶顯示聲表器件、平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤刻劃等
集成電路芯片、電子封裝、微電子機械系統(tǒng)、微光學(xué)元件、紅外探測器生物電泳芯片、激光二極管光刻、光柵光刻,波導(dǎo)陣列光刻、液晶顯示聲表器件、平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤刻劃等