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ZH440型四探針電阻率測(cè)試儀-紅寶石探針頭 型號(hào):ZH440
用途
測(cè)量硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率,測(cè)定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻。
測(cè)量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1.使用幾何尺寸的紅寶石軸套,確保探針間距的恒定、準(zhǔn)確。
2.控制寶石內(nèi)孔與探針之間的縫隙不大于6μm,探針的小游移率。
3.采用的S型懸臂式彈簧,使每根探針都具有立、準(zhǔn)確的壓力。
4.量具精度的硬質(zhì)合金探針,在寶石導(dǎo)孔內(nèi)穩(wěn)定運(yùn)動(dòng),持久耐磨。
探針間距
直線四探針:1.00mm、1.27mm、1.59mm
方形四探針:1.00mm
直線三探針:1.00mm、1.27mm、1.59mm
兩探針:1.00mm、1.59mm、4.76mm、10.00mm
指標(biāo)
游移率  
B<0.5%
A<0.3%
AA<0.2%
AAA<0.1%
間距偏差
B<3%
A<2%
AA<2%
AAA<1%
zui大針與導(dǎo)孔間隙:0.006mm
探針材料:硬質(zhì)合金(主成份:進(jìn)口碳化鎢)或高速鋼
探針壓力      標(biāo)準(zhǔn)壓力:6—10N(4根針總壓力)小壓力:1.2—5N(4根針總壓力)    1牛頓(N)=101.97克
針尖壓痕直徑:25—100μm、100—250μm(簿層)
500V緣電阻:>1000MΩ

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