Solstice 外延晶片在線光折射檢測(cè)儀
- 公司名稱 源順科技儀器有限公司
- 品牌
- 型號(hào) Solstice
- 產(chǎn)地 愛爾蘭
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2018/5/14 9:00:00
- 訪問次數(shù) 1310
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
公司產(chǎn)品主要有:X射線衍射系統(tǒng);多功能穩(wěn)定度分析儀 ;奈米顆粒大小分析儀;光電制造和檢測(cè)系統(tǒng);粘度分析系統(tǒng);粒度及微流變分析系統(tǒng);數(shù)字全析顯微鏡;呈象橢偏儀,布氏角顯微鏡,LB 薄膜分析;接觸角及表面張力分析儀;沾筆式納米制程技術(shù);在線粘度計(jì);原子薄膜沉積儀。
外延晶片在線光折射檢測(cè)儀
特 點(diǎn) : 對(duì) 2”-200 mm 的晶片可以進(jìn)行在線的光折射掃描,也可升級(jí)至 300mm 檢測(cè)直徑; 掃描范圍從 0.75 eV 到 2.2 eV, 3.6 eV 可選; 在室溫,禁帶寬度和偏移 (Band gap/band offset) 測(cè)量可精確到 2 meV ; 可進(jìn)行表面 / 界面電場(chǎng)測(cè)量; 入射角可從 15° 到 75°, 特別適合于 VCSEL/RCLED 晶片; *的模型軟件: TDFF, FDFF, FKO 擬合;
外延晶片在線光折射檢測(cè)儀
優(yōu) 點(diǎn) : 快速非接觸式外延晶片表征; 直接測(cè)量晶片的帶寬,偏移和表面 / 界面電場(chǎng); 應(yīng)用于統(tǒng)計(jì)的過程控制,提高加工穩(wěn)定性; 大幅節(jié)省由于晶片破壞性實(shí)驗(yàn)和設(shè)備制造的費(fèi)用; 提高晶片生產(chǎn)率;較少的校正可以提*; 控制晶片的質(zhì)量,以避免進(jìn)入下一步工序造成的損失; VCSEL 和 RCLED 晶片上的非破壞性實(shí)驗(yàn); 應(yīng) 用 : 室溫下高精度禁帶寬度測(cè)量; 外延晶片材料中關(guān)鍵部位的電場(chǎng)測(cè)量; 為 HBT 晶片質(zhì)量和靜態(tài)過程控制提供技術(shù); 無損檢測(cè) VCSEL 和 RCLE 晶片產(chǎn)品質(zhì)量; 可以適用多種晶片生產(chǎn)設(shè)備 (GaAs, InP, SiGe; GaN 可選 ) 適用于 HBT, pHEMT, LED, QWIP, 邊發(fā)射激光器材料;