橢圓偏振測厚儀
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 天津廣普光學儀器有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地 天津市河西區(qū)灰堆東五里堆
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2018/5/14 9:00:00
- 訪問次數(shù) 4643
產(chǎn)品標簽
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橢圓偏振測厚儀
產(chǎn)品特點:
儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及方便測量等特點;
光源采用氦氖激光器,功率穩(wěn)定、波長精度高;
儀器配有生成表、查表以及精確計算等軟件,方便用戶使用。
規(guī)格與主要技術(shù)指標:
測量范圍:薄膜厚度范圍:1nm-300nm; 折射率范圍:1-10
測量zui小示值:≤1nm 入射光波長:632.8nm
光學中心高:80mm 允許樣品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm
偏振器方位角范圍:0°- 180°讀取分辨率為0.05°
測量膜厚和折射率重復性精度分別為:±1nm和±0.01
主機重量:25kg 入射角連續(xù)調(diào)節(jié)范圍:20°- 90°精度為0.05°
成套性:主機、電控系統(tǒng)、計算軟件
外形尺寸:680*390*320mm