自動橢圓偏振測厚儀
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 天津廣普光學(xué)儀器有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2018/5/14 9:00:00
- 訪問次數(shù) 675
產(chǎn)品標(biāo)簽
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自動橢圓偏振測厚儀
規(guī)格與主要技術(shù)指標(biāo):測量范圍:薄膜厚度范圍1nm-4000nm 折射率范圍:1-10 測量zui小示值:≤1nm 入射角:20°- 90°精度≤0.05°度盤刻度:每格1度 允許樣品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm偏振器步進角:0.014°/步 偏振器方位角范圍:0°- 180° 測量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為:0.5nm和0.005儀器測量精度:±0.5nm(薄膜厚度在10-100nm時)光學(xué)中心高度:80mm 成套性:主機、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件(需配計算機)主機重量:26kg 外形尺寸:680*390*310mm