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8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線之離子束刻蝕機(jī)招標(biāo)公告

  • 公告日期 2024-05-13
  • 截止日期 2024-06-02
  • 所在地區(qū)

    北京北京市

  • 所屬行業(yè)

    實驗室常用設(shè)備/制樣/消解設(shè)備/電子束刻蝕系統(tǒng)

詳細(xì)信息

  中國儀器進(jìn)出口集團(tuán)有限公司受招標(biāo)人委托對下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國際公開競爭性招標(biāo),于2024-05-11在中國國際招標(biāo)網(wǎng)公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式,現(xiàn)邀請合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。
 
  1、招標(biāo)條件
 
  項目概況:設(shè)備名稱:離子束刻蝕機(jī)
 
  設(shè)備數(shù)量:1臺
 
  設(shè)備用途:主要用于8英寸MEMS工藝中的金屬膜層(Au、Ti)的刻蝕加工。
 
  資金到位或資金來源落實情況:資金已到位
 
  項目已具備招標(biāo)條件的說明:已具備
 
  2、招標(biāo)內(nèi)容
 
  招標(biāo)項目編號:0709-244035614023
 
  招標(biāo)項目名稱:8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線之離子束刻蝕機(jī)(重新招標(biāo))
 
  項目實施地點:中國安徽省
 
  招標(biāo)產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):

序號 產(chǎn)品名稱 數(shù)量 簡要技術(shù)規(guī)格 備注
1 離子束刻蝕機(jī) 1套 *刻蝕工藝腔 要求腔室內(nèi)部安裝有易拆卸替換的專用內(nèi)襯板、柵網(wǎng)、觀察窗、石英放電腔等,可實現(xiàn)設(shè)備真空腔室的快速清理和維護(hù),要求設(shè)備配備兩套內(nèi)襯板,兩套柵網(wǎng),兩套石英放電腔、兩套觀察窗、兩套中和器,一套在用,一套備用;工藝腔室為模塊化平臺構(gòu)造,包含氣體氣路、腔室本體、ESC下電極、電源分配模塊接口、傳送腔體接口等;對于刻蝕窗口暴露面積超過10%的晶圓,具備終點檢測抓取能力。 對于厚度300μm~1100μm的8英寸晶圓片,金(Au)薄膜刻蝕應(yīng)滿足以下指標(biāo): *(1)金(Au)刻蝕速率≥800?/min;  
  3、投標(biāo)人資格要求
 
  投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績:(1)投標(biāo)人是響應(yīng)招標(biāo)、已在招標(biāo)人或招標(biāo)機(jī)構(gòu)處領(lǐng)購招標(biāo)文件并參加投標(biāo)競爭的法人或其他組織。任何未在招標(biāo)人或招標(biāo)機(jī)構(gòu)處領(lǐng)購招標(biāo)文件的法人或其他組織均不得參加投標(biāo)。
 
  (2)凡是來自中華人民共和國或是與中華人民共和國有正常貿(mào)易往來的國家或地區(qū)的法人或其他組織均可投標(biāo)。
 
  (3)與招標(biāo)人存在利害關(guān)系可能影響招標(biāo)公正性的法人或其他組織不得參加投標(biāo)。
 
  (4)接受委托參與項目前期咨詢和招標(biāo)文件編制的法人或其他組織不得參加受托項目的投標(biāo),也不得為該項目的投標(biāo)人編制投標(biāo)文件或者提供咨詢。
 
  (5)單位負(fù)責(zé)人為同一人或者存在控股、管理關(guān)系的不同單位,不得參加同一招標(biāo)項目包投標(biāo)。
 
  (6)只有在法律上和財務(wù)上獨立、合法運(yùn)作并獨立于招標(biāo)人和招標(biāo)機(jī)構(gòu)的供貨人才能參加投標(biāo)。
 
  (7)投標(biāo)人須提供開戶銀行在開標(biāo)日前三個月內(nèi)開具的資信證明原件或復(fù)印件。
 
  (8)境內(nèi)投標(biāo)人還應(yīng)具備良好商業(yè)信譽(yù)和財務(wù)狀況,并能夠提供營業(yè)執(zhí)照、依法繳納稅收和社會保障資金證明等材料,不得存在下列情形之一:
 
 ?、偈疟粓?zhí)行人;
 
 ?、诒回?zé)令停業(yè)或進(jìn)入破產(chǎn)程序的;
 
 ?、圬敭a(chǎn)被接管、凍結(jié)且影響項目履約的;
 
  ④近三年內(nèi)有被相關(guān)行政監(jiān)督部門判定并發(fā)布騙取中標(biāo)的或取消投標(biāo)資格的;
 
 ?、菪杼峁┙陜?nèi)經(jīng)營活動中無重大違法記錄的書面聲明,并未被“國家企業(yè)信用信息公示系統(tǒng)”網(wǎng)站“列為嚴(yán)重違法失信名單”。
 
  (9)境內(nèi)投標(biāo)人須提供經(jīng)會計師事務(wù)所審計的2022年度財務(wù)審計報告復(fù)印件(財務(wù)審計報告應(yīng)當(dāng)體現(xiàn)投標(biāo)人(被審計單位)名稱、會計師事務(wù)所(審計單位)名稱、符合招標(biāo)文件要求的審計年度并提供經(jīng)審計的財務(wù)報表);境外投標(biāo)人須提供符合招標(biāo)文件要求的財務(wù)報表。
 
  (10)本項目接受代理商投標(biāo)。如果投標(biāo)人所投的貨物不是投標(biāo)人自己制造的,投標(biāo)人須提供制造商同意其在本次投標(biāo)中提供該貨物的正式授權(quán)書(不含轉(zhuǎn)授權(quán))。同一品牌的制造商只能委托一家代理商參與本項目投標(biāo)。同一品牌的制造商和代理商不能同時參加本項目的投標(biāo)。
 
  (11)投標(biāo)人可以是設(shè)備制造廠家或設(shè)備授權(quán)代理商,代理商需有設(shè)備原廠家的有效授權(quán)書;并且具有設(shè)備技術(shù)支持和服務(wù)能力。
 
  (12)投標(biāo)人可以是設(shè)備制造廠家或設(shè)備再制造廠商,也可以是設(shè)備授權(quán)代理商,代理商需有設(shè)備原廠家的有效授權(quán)書;并且具有設(shè)備技術(shù)支持和服務(wù)能力。要求2020年至今同類型設(shè)備出貨量與驗收數(shù)量大于10臺,國產(chǎn)設(shè)備與再制造廠商提供合同和驗收材料,進(jìn)口全新設(shè)備出具蓋章的業(yè)績說明材料。
 
  (13)試樣要求:招標(biāo)人有權(quán)利依次對滿足標(biāo)書要求的設(shè)備進(jìn)行樣品試制,試制樣品須滿足本標(biāo)書第三條(主要技術(shù)指標(biāo))中樣品試制要求。招標(biāo)方提供樣片給投標(biāo)方,投標(biāo)方使用參與投標(biāo)的同型號設(shè)備,測試過程由招標(biāo)方進(jìn)行現(xiàn)場監(jiān)督,招標(biāo)方按照試制樣品驗收指標(biāo)要求進(jìn)行工藝測試,測試完成后提交招標(biāo)方檢測評估,檢測評估合格,投標(biāo)方才具備投標(biāo)資格。
 
  是否接受聯(lián)合體投標(biāo):不接受
 
  未領(lǐng)購招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo):不可以
 
  4、招標(biāo)文件的獲取
 
  招標(biāo)文件領(lǐng)購開始時間:2024-05-11
 
  招標(biāo)文件領(lǐng)購結(jié)束時間:2024-05-17
 
  是否在線售賣標(biāo)書:否
 
  獲取招標(biāo)文件方式:現(xiàn)場領(lǐng)購
 
  招標(biāo)文件領(lǐng)購地點:https://bid.cnic.com.cn
 
  招標(biāo)文件售價:¥1500/$210
 
  5、投標(biāo)文件的遞交
 
  投標(biāo)截止時間(開標(biāo)時間):2024-05-31 09:30
 
  投標(biāo)文件送達(dá)地點:北京市西城區(qū)北三環(huán)中路25號英斯泰克大廈5層會議室
 
  開標(biāo)地點:北京市西城區(qū)北三環(huán)中路25號英斯泰克大廈5層會議室
 
  6、聯(lián)系方式
 
  招標(biāo)人:安徽華鑫微納集成電路有限公司
 
  地址:安徽省蚌埠市東海大道888號
 
  聯(lián)系人:陳老師
 
  聯(lián)系方式:13906020315
 
  招標(biāo)代理機(jī)構(gòu):中國儀器進(jìn)出口集團(tuán)有限公司
 
  地址:北京市豐臺區(qū)西營街1號院1區(qū)1號樓15層、16層、17層
 
  聯(lián)系人:陶宇

聯(lián)系方式

招標(biāo)單位中國儀器進(jìn)出口集團(tuán)有限公司
聯(lián)系人陶宇
聯(lián)系電話010-60961220/60961520
聯(lián)系傳真
聯(lián)系地址北京市豐臺區(qū)西營街1號院1區(qū)1號樓15層、16層、17層
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