2024-11-13
用于半導(dǎo)體應(yīng)用的多孔金屬墊片過濾器
保護(hù)精密氣體系統(tǒng)的可靠解決方案:
1) 這款全金屬過濾器專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計(jì),可與 1/4“、3/8” 和 1/2“ VCR 標(biāo)準(zhǔn)墊圈接口無縫兼容。
2) 墊圈式設(shè)計(jì)確保易于安裝,使其成為 MFC(質(zhì)量流量控制器)模塊、精密閥門和壓力調(diào)節(jié)器的重要保護(hù)屏障。
3) 多孔金屬墊片過濾器能夠承受高達(dá) 400°C 的溫度,有效阻止顆粒侵入,保護(hù)敏感氣體成分。
4) 通過防止與污染相關(guān)的泄漏,延長(zhǎng)設(shè)備使用壽命并降低維護(hù)成本。
5) 該過濾器提供低壓和高壓兩種型號(hào),可改裝到現(xiàn)有的管道系統(tǒng)中,為保護(hù)精密設(shè)備免受污染提供經(jīng)濟(jì)高效的解決方案。
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