用于半導體應用的多孔金屬限流過濾器
保護精密氣體系統(tǒng)的可靠解決方案：
1） 這款全金屬過濾器專為半導體氣體分配系統(tǒng)設計，可與 1/4“、3/8” 和 1/2“ VCR 標準墊圈接口無縫兼容。
2） 墊圈式設計確保易于安裝，使其成為 MFC（質量流量控制器）模塊、精密閥門和壓力調節(jié)器的重要保護屏障。
3） 多孔金屬墊片過濾器能夠承受高達 400°C 的溫度，有效阻止顆粒侵入，保護敏感氣體成分。
4） 通過防止與污染相關的泄漏，延長設備使用壽命并降低維護成本。
5） 該過濾器提供低壓和高壓兩種型號，可改裝到現(xiàn)有的管道系統(tǒng)中，為保護精密設備免受污染提供經(jīng)濟高效的解決方案。
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