pGas200-ASM-SC-6s 半導(dǎo)體車間有毒氣體快速檢測儀是一款專門用于檢測半導(dǎo)體工廠中可燃、有毒、有害氣體泄漏的實用型產(chǎn)品,具有高靈敏度、高可靠性、低濃度檢測等特點,可檢測硅烷、磷化氫、砷化氫、氯化物、氟化物、氫氣、氨氣等上百種氣體,適用于半導(dǎo)體、液晶面板、光伏和電池制造等行業(yè)。電化學(xué)探頭直接采樣,配有方便背包、打印功能,對現(xiàn)場檢測、或?qū)嶒炇覚z測尤其方便適用。
便攜式氣體分析儀應(yīng)用:
環(huán)境檢測
污染源檢測
工業(yè)工藝現(xiàn)場分析
科學(xué)研究實驗室分析
軍事毒氣安全
勞動安全,施工安全
化學(xué)泄露、事故分析
pGas200-ASM-SC-6s 半導(dǎo)體車間有毒氣體快速檢測儀技術(shù)指標(biāo):
BD4主機測試ADC分辨率: 0.025%FS
電化學(xué)探頭準(zhǔn)確度: ±1-2%讀數(shù)(一般)
長期穩(wěn)定性: +/-10% /年 (一般)
分析器響應(yīng)時間:< 10ms
探頭響應(yīng)時間:<1min
儀器使用環(huán)境: 溫度:-10℃~60℃; 濕度:10%~90%R(無結(jié)露)
儀器保存環(huán)境: 溫度: 0℃~50℃; 濕度:10%~80%R(無結(jié)露)
電化學(xué)探頭直接采樣: 溫度: 0-40℃; 壓力:<1.1 kgf/cm2
供電: 6V充電蓄電池
連續(xù)使用時間: >24Hr/每次充電; 電池置放時間1周。
便攜式有毒氣體快速檢測儀測試參數(shù)及技術(shù)指標(biāo):
技術(shù)參數(shù) | 技術(shù) | 說明 |
PH3-4PH:0.05-20ppm SiH4-4SL:0.05-50ppm AsH3-3E1:0.015-1ppm Chlorides: 0.7-30ppm Fluorides: 0.25-10ppm H2:0-4%VOl | EC EC EC EC EC EC | 擴(kuò)散式采樣; 半導(dǎo)體車間全毒氣報警, 有一定的區(qū)辯能力. Chlorides對HCl,SiH2Cl2, S2Cl2, GeCl4, PCl3, PCl5, POCl3, SiCl4, TiCl4, SiHCl3, C3Cl3N3都有響應(yīng); Fluorides對HF,COF2,S2F10,SO2F2,SnF4,C3F3N3都有響應(yīng); Gas200通過標(biāo)定系統(tǒng)甚至可能對H2B6.GeH4,H2Se進(jìn)行定性定量探測. |