進(jìn)口甩膠機(jī)SPIN200i是200mm單片甩膠機(jī)SPIN COATER,專為MEMS、半導(dǎo)體、光伏、微流體等領(lǐng)域的研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設(shè)計(jì)，適用于所有典型的旋涂工藝：清潔、沖洗/干燥、涂層、顯影和蝕刻。
進(jìn)口甩膠機(jī)SPIN200i適用于處理小至5mm、高達(dá)200?（或8”）或6“x 6”基板的晶圓?？刹鹦队|摸面板。
進(jìn)口甩膠機(jī)SPIN200i特點(diǎn)
工藝種類齊全，包括旋涂和浸置式顯影
結(jié)構(gòu)緊湊，方便實(shí)驗(yàn)室防置
大屏幕彩色觸摸屏
專為各種光刻化學(xué)光刻膠設(shè)計(jì)
進(jìn)口小型旋涂機(jī)SPIN150i規(guī)格參數(shù)
程序數(shù)：無(wú)限制
程序的步進(jìn)數(shù)：無(wú)限制
旋涂速度：1-12000rpm (+/-1rpm步）
旋涂速度精度：± 0.1 rpm
旋涂旋轉(zhuǎn)方向：順時(shí)針，逆時(shí)針，puddle浸置式
最大加速度：30000rpm/s
旋涂時(shí)間：無(wú)限制
外殼材質(zhì)：NPP
旋涂室材質(zhì)：NPP
外部鏈接：1個(gè)USB接口連接控制器
最大襯底直徑：260mm圓形或6''x6''方形
最大旋涂室直徑：302mm
尺寸:380 (w) x 307 (h) x 599 (d) mm
重量：20kg
供電要求：200-240VAC
最大功耗：500W
真空：- 65 kPa (-19 inchHg), ≥ 80 lpm Tube OD ?8mm