 |
一、沉積設(shè)備用高溫分體氣體流量控制器及流量計 產(chǎn)品概述：
u 可快速精確測量高溫氣體的體積流量/質(zhì)量流量
u 采用定制的高速比例控制閥對介質(zhì)體積流量/質(zhì)量流量進行精確控制
u 超大可觸顯示屏，操作方便同時開放模擬輸入輸出和RS-485數(shù)字通訊
u 內(nèi)部無可移動組件和熱元件，通過抗振動測試，對安裝方向不敏感
u 采用內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下流體仍舊保持層流運動
u 提供良好的用戶支持，包括技術(shù)咨詢、快捷的設(shè)備校準(zhǔn)服務(wù)和有條件的終身質(zhì)保。
二、產(chǎn)品應(yīng)用：
-- 沉積設(shè)備用高溫分體氣體流量控制器及流量計 已廣泛應(yīng)用于薄膜沉積領(lǐng)域，如：陶瓷工藝、半導(dǎo)體、光纖等行業(yè)使用高溫氣體的的沉積設(shè)備。
-- 多變量測量以及50:1量程可調(diào)比，使得僅用一臺熱式高溫分體氣體質(zhì)量流量控制器及流量計便可取代多臺設(shè)備的功效。
-- 精度0.5%FS、重復(fù)性0.5%及不到200毫秒的控制響應(yīng)時間，確保高溫的過程氣體可以流暢的工作。
三、沉積設(shè)備用高溫分體氣體流量控制器及流量計 技術(shù)參數(shù)：
技 術(shù) 指 標(biāo) | 質(zhì)量流量控制器 | 質(zhì)量流量計 | |
量程范圍 | 2SCCM~300SLM | ||
精度 (調(diào)零后標(biāo)準(zhǔn)條件下) | ±0.5%F·S（滿量程） | ||
重復(fù)精度 | ±0.5%F·S | ||
流量控制比 /測量范圍 | 2%~100%F·S/50：1 | 1%~100%F·S/100：1 | |
工作溫度 | 過流部分：（90~150℃），控制部分：0~70℃ | ||
漏率 | ＜2×10-9 Pa m3/S | ||
機 械 部 件 | 最大工作壓力 | 3 MPa / 10MPa | |
密封材質(zhì) | 氟橡膠、全氟醚、金屬密封 | ||
防護等級 | IP40 | ||
底座材質(zhì) | 不銹鋼 | ||
氣路接頭 | φ6，φ8，φ10，φ12，卡套、VCR等 | ||
電 氣 性 能 | 單色LCD顯示屏 | 同時顯示實時流量、設(shè)定流量 | |
數(shù)字通訊 | 可選：RS232/485，Modbus協(xié)議、Profibus協(xié)議、DeviceNet協(xié)議 | ||
模擬輸入輸出信號 | 0~5VDC/4~20mA | ||
電信號接口 | B9孔, RJ11, 5.5×2.1電源快插 | ||
供電電壓 | ±15VDC，24VDC | ||
采購中心