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TH511 TH512 TH513半導(dǎo)體C-V特性分析儀

2023-12-17

產(chǎn)      地:
常州
所在地區(qū):
廣東深圳市
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TH511 TH512 TH513半導(dǎo)體C-V特性分析儀

簡介

TH510系列半導(dǎo)體C-V特性分析儀是常州同惠電子根據(jù)當(dāng)前半導(dǎo)體功率器件發(fā)展趨勢,針對半導(dǎo)體材料及功率器件設(shè)計的分析儀器。

儀器采用了一體化集成設(shè)計,二極管、三極管、MOS管及IGBT等半導(dǎo)體功率器件寄生電容、CV特性可一鍵測試,無需頻繁切換接線及設(shè)置參數(shù),單管功率器件及模組功率器件均可一鍵快速測試,適用于生產(chǎn)線快速測試、自動化集成。

CV曲線掃描分析能力亦能滿足實驗室對半導(dǎo)體材料及功率器件的研發(fā)及分析。

儀器設(shè)計頻率為1kHz-2MHz,VGS電壓可達(dá)±40V,VDS電壓可達(dá)±200V/±1500V/±3000V,足以滿足大多數(shù)功率器件測試。

image.png

性能特點

一體化設(shè)計:

LCR+VGS低壓源+VDS高壓源+通道切換+上位機軟件

單管器件(點測)、模組器件(列表掃描)、曲線掃描(選件)

三種測試方式

四寄生參數(shù)(Ciss、CossCrss、RgCiesCoes、Cres、Rg)

同屏一鍵測量及顯示

標(biāo)配2通道,可擴展至6通道,可測單管、多芯或模組器件

TH5131通道)

• CV曲線掃描、Ciss-Rg曲線掃描

電容快速充電技術(shù),實現(xiàn)快速測試

接觸檢查Cont

通斷測試OP_SH

自動延時設(shè)置

柵極電壓VGS0 - ±40V

漏極電壓VDS0 - ±200V/±1500V/±3000V

• 10分選

應(yīng)用

半導(dǎo)體元件/功率元件

二極管、三極管、MOSFET、IGBT、晶閘管、集成電路、光

電子芯片等寄生電容測試、C-V特性分析

半導(dǎo)體材料

晶圓切割、C-V特性分析

液晶材料

彈性常數(shù)分析

電容元件

電容器C-V特性測試及分析,電容式傳感器測試分析

TH511 TH512 TH513半導(dǎo)體C-V特性分析儀技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號

TH511

TH512

TH513

通道數(shù)

2(可選配4/6通道)

1

顯示

顯示器

10.1英寸(對角線)電容觸摸屏

比例

16:9

分辨率

1280×RGB×800

測量參數(shù)

Ciss、Coss、CrssRg ,四參數(shù)任意選擇

測試頻率

范圍

1kHz-2MHz

精度

0.01%

分辨率

10mHz

1.00000kHz-9.99999kHz

100mHz

10.0000kHz-99.9999kHz

1Hz

100.000kHz-999.999kHz

10Hz

1.00000MHz-2.00000MHz

測試電平

電壓范圍

5mVrms-2Vrms

準(zhǔn)確度

±(10%×設(shè)定值+2mV

分辨率

1mVrms

5mVrms-1Vrms

10mVrms

1Vrms-2Vrms

VGS電壓

范圍

0 - ±40V

準(zhǔn)確度

1%×設(shè)定電壓+8mV

分辨率

1mV

0V - ±10V

10mV

±10V - ±40V

VDS電壓

范圍

0 - ±200V

0 - ±1500V

0 - ±3000V

準(zhǔn)確度

1%×設(shè)定電壓+100mV

輸出阻抗

100Ω,±2%@1kHz

數(shù)學(xué)運算

與標(biāo)稱值的絕對偏差Δ,與標(biāo)稱值的百分比偏差Δ%

校準(zhǔn)功能

開路OPEN、短路SHORT、負(fù)載LOAD、夾具校準(zhǔn)

測量平均

1-255

AD轉(zhuǎn)換時間(ms/次)

快速+2.5ms(5kHz) 快速:11ms 中速:90ms 慢速:220ms

最高準(zhǔn)確度

0.5%(具體參考說明書)

Ciss、Coss、Crss

0.00001pF - 9.99999F

Rg

0.001mΩ - 99.9999MΩ

Δ%

±(0.000% - 999.9%

多功能參數(shù)列 表掃描

點數(shù)

50點,每個點可設(shè)置平均數(shù),每個點可單獨分選

參數(shù)

測試頻率、Vg、Vd、通道

觸發(fā)模式

順序SEQ:當(dāng)一次觸發(fā)后,在所有掃描點測量,/EOM/INDEX只輸出一次

步進(jìn)STEP:每次觸發(fā)執(zhí)行一個掃描點測量,每點均輸出/EOM/INDEX,但列表掃描比較器 結(jié)果只在最后的/EOM才輸出

圖形掃描

掃描點數(shù)

任意點可選,最多1001

結(jié)果顯示

同一參數(shù)、不同Vg的多條曲線;同一Vg、不同參數(shù)多條曲線

顯示范圍

實時自動、鎖定

坐標(biāo)標(biāo)尺

對數(shù)、線性

掃描參數(shù)

Vg、Vd

觸發(fā)方式

手動觸發(fā)一次,從起點到終點一次掃描完成,下個觸發(fā)信號啟動新一次掃描

結(jié)果保存

圖形、文件



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