 |
叉指電極真空探針臺(tái)KT-0904T-RL
微間距的叉指電極是一種為常用的微間距電極結(jié)構(gòu)，它被廣泛的應(yīng)用于非破壞性測(cè)試、電子通訊、化學(xué)測(cè)試等多個(gè)領(lǐng)域。 一般來(lái)說(shuō)，不同的應(yīng)用領(lǐng)域?qū)τ诓嬷鸽姌O的形狀、幾何學(xué)尺寸、加工工藝、材料的選擇、建模分析、系統(tǒng)集成以及數(shù)據(jù)的分析都有不同的要求，因此對(duì)于不同的領(lǐng)域我們應(yīng)該區(qū)分對(duì)待。如圖所示，列出了幾種常見(jiàn)的叉指電極結(jié)構(gòu)，基本的結(jié)構(gòu)有圓形、矩形等，而每條叉指的形狀除簡(jiǎn)單的矩形外，也可有圓形或矩形突起。在這里，我們要根據(jù)環(huán)境監(jiān)測(cè)的具體要求，針對(duì)叉指電極的結(jié)構(gòu)形狀進(jìn)行分析說(shuō)明和終的結(jié)構(gòu)選擇，確定具體的設(shè)計(jì)參數(shù)根據(jù)微弱信號(hào)檢測(cè)的相關(guān)原理，在低頻信號(hào)測(cè)量時(shí)，電阻值越高，其相應(yīng)的電阻熱噪聲和閃爍噪聲也就越高，不利于信號(hào)的提取和檢測(cè)[1]。所以，可以通過(guò)減少敏感膜電阻值的方法，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體敏感傳感器的信號(hào)噪聲比的提高，從而減小噪聲對(duì)測(cè)量信號(hào)的干擾。根據(jù)電阻的計(jì)算公式，影響阻值變化的因素主要有電阻率、電阻長(zhǎng)度及橫截面積等。一般情況下，氣體敏感材料薄膜的電阻率較高，因此減小敏感膜電阻值的方法是增加敏感膜的厚度或者是增大敏感膜的寬長(zhǎng)比。但是，敏感膜的厚度太大會(huì)降低氣體敏感傳感器的響應(yīng)時(shí)間。因此，綜合考慮到響應(yīng)時(shí)間和信噪比，需要設(shè)計(jì)優(yōu)化氣體敏感傳感器中微電極的厚度和長(zhǎng)寬比。
叉指電極真空探針臺(tái)技術(shù)參數(shù)；
真空腔體 | |
類(lèi)型 | 加熱型350℃ 或者加熱制冷型 室溫到350℃ 室溫到-190℃ |
腔體材質(zhì) | 304不銹鋼 |
腔體內(nèi)尺寸 | φ90x40mm |
腔體上視窗尺寸 | Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm） |
腔體抽氣口 | KF16 |
腔體進(jìn)氣口 | 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 |
腔體出氣口 | 公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選 |
腔體正壓 | ≤0.05MPa |
腔體真空度 | 機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘） |
樣品臺(tái) | |
樣品臺(tái)材質(zhì) | 304不銹鋼 |
樣品臺(tái)尺寸 | 26X26mm |
樣品臺(tái)-視窗 距離 | 30mm（可選凹視窗間距15mm） |
樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器 | A 級(jí)PT100鉑電阻 |
樣品臺(tái)溫度 | 室溫到350℃（可選高低溫樣品臺(tái) 高溫350℃低溫-190℃） |
樣品臺(tái)測(cè)溫誤差 | ±0.2℃ |
樣品臺(tái)變溫速率 | 高溫10℃/min 低溫5℃/min 最大值 |
溫控儀 | |
溫度顯示 | 7寸人機(jī)界面 |
溫控類(lèi)型 | 標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫） |
溫度分辨率 | 0.1℃ |
溫控精度 | ±0.5℃ |
溫度信號(hào)輸入類(lèi)型 | PT100熱電阻 （可選 K S B型熱電偶） |
溫控輸出 | 直流線性電源加熱（液氮流量線性控制液氮制冷） |
輔助功能 | 溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線 |
探針 | |
電信號(hào)接頭 | 配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長(zhǎng)1.2米 |
電學(xué)性能 | 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA |
探針數(shù)量 | 4探針（可定做6探針） |
探針材質(zhì) | 鍍金鎢針 |
探針尖 | 10μm |
探針移動(dòng)平臺(tái) | |
X軸移動(dòng)行程 | 12mm ±6mm |
X軸控制精度 | ≤5μm |
Y軸移動(dòng)行程 | 12mm ±6mm |
Y軸控制精度 | ≤5μm |
Z軸移動(dòng)行程 | 12mm ±6mm |
Z軸控制精度 | ≤5μm |
數(shù)碼顯微鏡 | |
顯微鏡類(lèi)別 | 物鏡放大+電子放大 |
顯微鏡放大倍數(shù) | 100倍 |
顯微鏡工作間距 | 50-150mm |
相機(jī)分辨率 | 1080P 60幀 |
相機(jī)信號(hào)輸出 | HDMI輸出+USB輸出 |
LED可調(diào)光源 | LED光源 |
顯示屏 | 5寸 屏幕一體機(jī) |
鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
- MM3E-帶位置編碼的微納米操縱儀
- 澤攸手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)
- Microprobe-進(jìn)口微探針臺(tái)系統(tǒng)
- FPTER-Teraprobe-非接觸式探針臺(tái)
- 進(jìn)口signatone半自動(dòng)高溫探針臺(tái)
- FPAPO-M40-探針操縱器,探針臺(tái)操縱qi
- FPAPO-Coaxial-三軸探針臂
- FPAPO-Probearm-高壓探針臂
- FPAPO-MJ-8-真空變溫探針臺(tái),變溫晶圓測(cè)
- FPAPO-AP-200-進(jìn)口光電測(cè)試探針臺(tái)
- Z-LASER Z30M18B-F-640-LG90 激光器 MX
- Picotronic代理 LE635-5-24 20x80 45-P
采購(gòu)中心