反射式膜厚測(cè)量?jī)x
A3-SR系列反射式膜厚測(cè)量?jī)x可用于測(cè)量半導(dǎo)體鍍膜,手機(jī)觸摸屏ITO等鍍膜厚度,PET柔性涂布的膠厚等厚度,LED鍍膜厚度,建筑玻璃鍍膜厚度及其他需要測(cè)量膜厚的場(chǎng)合。A3-SR可用于測(cè)量2納米到3000微米的膜厚,測(cè)量精度達(dá)到0.1納米。 在折射率未知的情況下,A3-SR還可用于同時(shí)對(duì)折射率和膜厚進(jìn)行測(cè)量。
此外,A3-SR還可用于測(cè)量樣品的顏色和反射率。樣品光斑在1毫米以內(nèi)。A3-SR進(jìn)行測(cè)量簡(jiǎn)單可靠,實(shí)際測(cè)量采樣時(shí)間低于1秒。配合我們的Apris SpectraSys 軟件進(jìn)行手動(dòng)測(cè)量,每次測(cè)量時(shí)間低于5秒。Apris SpectraSys支持50層膜以內(nèi)的模型并可對(duì)多層膜厚參數(shù)進(jìn)行測(cè)量。Apris SpectraSys 軟件還擁有近千種材料的材料數(shù)據(jù)庫(kù),同時(shí)支持函數(shù)型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光學(xué)(Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz),混合型(Maxwell Garnett, Bruggeman)EMA 等折射率模型。
同時(shí),客戶還可以通過(guò)軟件自帶數(shù)據(jù)庫(kù)對(duì)材料,菜單進(jìn)行管理并回溯檢查測(cè)量結(jié)果。目標(biāo)應(yīng)用:半導(dǎo)體鍍膜,光刻膠玻璃減反膜測(cè)量藍(lán)寶石鍍膜,光刻膠ITO 玻璃太陽(yáng)能鍍膜玻璃各種襯底上的各種膜厚,顏色測(cè)量卷對(duì)卷柔性涂布光學(xué)膜其他需要測(cè)量膜厚的場(chǎng)合
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