預算200萬 清華大學采購原子層沉積系統(tǒng)
【化工儀器網(wǎng) 市場商機】原子層沉積是一種可以將物質以單原子膜形式一層一層的鍍在基底表面的方法。原子層沉積與普通的化學沉積有相似之處。但在原子層沉積過程中，新一層原子膜的化學反應是直接與之前一層相關聯(lián)的，這種方式使每次反應只沉積一層原子。
近日，清華大學就“清華大學原子層沉積系統(tǒng)購置項目”發(fā)布公開招標公告，預算200萬，購置1套原子層沉積系統(tǒng)，項目情況如下。
項目基本情況
項目編號：CMEETC-227XO113KK533(清設招第20221139號)
項目名稱：清華大學原子層沉積系統(tǒng)購置項目
預算金額：200.0000000 萬元(人民幣)
最高限價(如有)：200.0000000 萬元(人民幣)
采購需求：
采購需求
設備用途介紹：原子層沉積設備用于制備原子尺度的Al2O3、TiO等金屬氧化物材料，可在平板襯底、溝槽結構表面、不規(guī)則樣品表面沉積均勻、致密的原子層級別的薄膜。設備可用于生長多種氧化物薄膜，可應用于材料學、物理學、化學、微電子、光電子、能源、催化、納米技術、太陽能電池等領域。
簡要技術指標：前驅源鋼瓶容量 50 毫升；前驅源脈沖時間可精確控制到 0. 015s. 以 TMA 為例，其脈沖時間可短到0.015s；膜厚均勻性：≤±1.5% 1-sigam (以 Al2O3 熱生長方式為例，4 英寸硅片)；詳見公告附件。
合同履行期限：合同簽訂后200日內(nèi)完成設備交貨、安裝及調(diào)試工作。
本項目( 不接受 )聯(lián)合體投標。
申請人的資格要求
1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定；
2.落實政府采購政策需滿足的資格要求：
本項目不專門面向中小企業(yè)預留采購份額
3.本項目的特定資格要求：詳見附件。
獲取招標文件
時間：2022年12月01日 至 2022年12月08日，每天上午9:00至11:30，下午13:30至19:00。(北京時間，法定節(jié)假日除外)
地點：北京市海淀區(qū)車公莊西路乙19號華通大廈B座南塔14層
方式：詳見杜建。
售價：￥500.0 元，本公告包含的招標文件售價總和
提交投標文件截止時間、開標時間和地點
提交投標文件截止時間：2022年12月21日 14點00分(北京時間)
開標時間：2022年12月21日 14點00分(北京時間)
地點：北京市海淀區(qū)車公莊西路乙19號華通大廈B座南塔14層
相關資料下載：
（清設招第20221139號）招標公告-清華大學原子層沉積系統(tǒng)購置項目.docx 采購需求-清華大學原子層沉積系統(tǒng)購置項目.docx 報名表格-清華大學原子層沉積系統(tǒng)購置項目.docx
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