探討半導(dǎo)體行業(yè)超精密分析需求 “半導(dǎo)體超精密分析技術(shù)及應(yīng)用線上論壇”圓滿落幕
【化工儀器網(wǎng) 會議新聞】隨著智能化、集成化成為科技發(fā)展的一個(gè)重要方向，集成電路、消費(fèi)電子、通信系統(tǒng)等熱門領(lǐng)域得到高速發(fā)展的同時(shí)，也刺激著半導(dǎo)體市場的不斷推進(jìn)。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對國家發(fā)展的意義，對人民生活的影響因此日漸突出。
而我國盡管是全球主要的電子信息制造業(yè)基地，擁有大規(guī)模的半導(dǎo)體市場，但高性能半導(dǎo)體制造技術(shù)卻頻頻受限。尤其是在微米量級領(lǐng)域，更直接面臨著器件尺寸對測試技術(shù)提出的挑戰(zhàn)。因此，從半導(dǎo)體的材料開發(fā)，到半導(dǎo)體器件和高純材料的測試精度和效率，再到半導(dǎo)體加工技術(shù)，是我國分析科學(xué)家及儀器廠商一直在不斷努力解決的問題。
基于此，化工儀器網(wǎng)于2022年10月20日舉辦了主題為“半導(dǎo)體超精密分析技術(shù)及應(yīng)用線上論壇”的線上研討會，邀請了西安交通大學(xué)教授楊樹明、天津三英精密儀器股份有限公司應(yīng)用工程師李策、北京大學(xué)授級高工楊學(xué)林、牛津儀器納米分析部應(yīng)用科學(xué)家馬嵐、浙江大學(xué)教授朱巖、東華理工大學(xué)副教授徐加泉、天津大學(xué)精密測試技術(shù)及儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室英才副教授徐宗偉、徠卡顯微系統(tǒng)(上海)貿(mào)易有限公司應(yīng)用工程師包沈源、賽默飛世爾科技應(yīng)用科學(xué)家李小波交流技術(shù)分享經(jīng)驗(yàn)。一場場精彩的報(bào)告為觀眾留下了深刻的印象。
此次研討會分為上午場與下午場，上午場于10月20日上午9時(shí)30分準(zhǔn)時(shí)開始。
面向半導(dǎo)體芯片制造的超精密檢測技術(shù)
西安交通大學(xué)教授楊樹明
高分辨CT和高速CT在電子制造領(lǐng)域的應(yīng)用
天津三英精密儀器股份有限公司應(yīng)用工程師李策
天津三英精密儀器股份有限公司應(yīng)用工程師李策
GaN基材料外延生長及C雜質(zhì)相關(guān)缺陷檢測技術(shù)
北京大學(xué)授級高工楊學(xué)林
EDS及EBSD在GaN中的應(yīng)用進(jìn)展
牛津儀器納米分析部應(yīng)用科學(xué)家馬嵐
稍作休息后，下午場的報(bào)告于10月20日下午2時(shí)準(zhǔn)時(shí)開始。
直接質(zhì)譜技術(shù)在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用
東華理工大學(xué)副教授徐加泉
寬禁帶半導(dǎo)體原子尺度制造的機(jī)遇與挑戰(zhàn)
天津大學(xué)精密儀器工程系副系主任徐宗偉
徠卡電鏡制樣產(chǎn)品應(yīng)用之半導(dǎo)體器件制樣方式與技巧
徠卡顯微系統(tǒng)(上海)貿(mào)易有限公司應(yīng)用工程師包沈源
ICPMS在有機(jī)溶劑及聚合物中金屬雜質(zhì)檢測的應(yīng)用
賽默飛世爾科技應(yīng)用科學(xué)家李小波
賽默飛世爾科技應(yīng)用科學(xué)家李小波
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