PMS助力科百特超凈工藝微污染控制
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2021年11月19日，在美麗的杭州蕭山，集成電路材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟(以下簡稱“材料聯(lián)盟”)與杭州科百特過濾器材有限公司(以下簡稱“科百特”)聯(lián)合成功舉辦了集成電路超凈工藝技術(shù)Workshop。
隨著半導(dǎo)體工藝節(jié)點不斷演進(jìn)，晶圓表面的潔凈要求也越來越嚴(yán)苛。晶圓表面微污染雜質(zhì)是影響芯片良率和芯片產(chǎn)品性能的關(guān)鍵因素。為應(yīng)對高階工藝對微污染控制提出的新挑戰(zhàn)和新需求，此次技術(shù)研討會邀請到了60余位半導(dǎo)體制造、硅材料、光刻膠、高純濕化學(xué)和拋光材料等相關(guān)行業(yè)的技術(shù)專家參會，共同探討新技術(shù)要求下的潔凈控制。
會議上，杭州市蕭山區(qū)政府領(lǐng)導(dǎo)倪世英、集成電路材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟石瑛秘書長、科百特CEO Kevin、上海集成電路研究院董事長俞文杰為大會做了精彩的致辭。
科百特CEO Kevin介紹了科百特專注在膜技術(shù)的發(fā)展，從微孔膜發(fā)展到現(xiàn)在的1nm的納米膜，主要應(yīng)用于兩大產(chǎn)業(yè)——生物制藥和集成電路，生物制藥主要用于除菌過濾，蛋白和病毒的濃縮和分離；在集成電路領(lǐng)域，可用于光刻、清洗、刻蝕和拋光等200多個工藝點的微污染過濾和純化，最小精度已經(jīng)做到1nm。
此次會議特別邀請了武漢新芯集成電路制造有限公司首席運(yùn)營官孫鵬、上海華力集成電路制造有限公司先進(jìn)模塊濕法研發(fā)專家李芳科長、安集微電子科技(上海)股份有限公司應(yīng)用總監(jiān)王勝利和杭州科百特過濾器材有限公司CTO山田善章(Yamada Yoshiaki)做了精彩報告。
11月19日下午，本次參會的技術(shù)專家參觀了科百特半導(dǎo)體濾芯百級潔凈車間、7000平技術(shù)驗證中心、200L超凈包裝桶和高純化學(xué)品內(nèi)襯設(shè)備制造車間，大家感嘆科百特高速發(fā)展和通過技術(shù)攻克解決進(jìn)口依賴表示高度贊賞，對科百特半導(dǎo)體的戰(zhàn)略發(fā)展給予積極的評價。
科百特?fù)碛袠I(yè)界領(lǐng)先的半導(dǎo)體濾芯制造技術(shù)，對微污染監(jiān)測精度已經(jīng)關(guān)注到20nm的微粒，美國粒子監(jiān)測系統(tǒng)公司(簡稱PMS)擁有業(yè)界領(lǐng)先的20nm微粒監(jiān)測產(chǎn)品和應(yīng)用解決方案，此次大會中科百特也向半導(dǎo)體行業(yè)領(lǐng)先的高端供應(yīng)商和終端客戶等與會代表介紹了行業(yè)領(lǐng)先的20nm化學(xué)品粒子監(jiān)測儀器PMS Chem20。
化學(xué)品折射率不同將影響粒子計數(shù)結(jié)果，為了應(yīng)對不同介質(zhì)并提供更準(zhǔn)確的監(jiān)測結(jié)果，PMS專門設(shè)計了兩種型號的Chem20供客戶選擇：
Chem 20：適用于折射率較低的化學(xué)品
Chem 20-HI：適用于硫酸和其他折射指數(shù)較高的化學(xué)品
Chem 20化學(xué)品粒子計數(shù)器是一款實用性很強(qiáng)的工具，在化學(xué)品中的顆粒污染物影響工藝和設(shè)備性能之前，它便能夠快速檢測化學(xué)品中的顆粒污染物，覆蓋化學(xué)品輸送從裝卸碼頭到生產(chǎn)流程節(jié)點的整個過程。Chem20在國際領(lǐng)先的半導(dǎo)體工廠已經(jīng)被廣泛使用并得到了市場的認(rèn)可。
關(guān)于PMS
美國粒子監(jiān)測系統(tǒng)公司 (PMS) 是 Spectris plc 旗下子公司，秉承先進(jìn)的全球污染監(jiān)測技術(shù)，也是激光粒子計數(shù)的發(fā)明者，現(xiàn)在是專業(yè)的供應(yīng)商，為超潔凈環(huán)境中生產(chǎn)產(chǎn)品的公司提供監(jiān)測和控制多種污染形式的完整解決方案，幫助其擺脫污染的影響。
關(guān)于科百特
科百特專注于納米膜材料的研發(fā)和生產(chǎn)，致力于為全球集成電路制造和生物制藥產(chǎn)業(yè)提供創(chuàng)新的過濾純化解決方案。目前員工超過4000名，工程師超過1000名，總部設(shè)在杭州，在上海、北京、中國臺灣、日本、韓國和新加坡的子公司為全球106個國家及地區(qū)的20000多家客戶提供服務(wù)。半導(dǎo)體業(yè)務(wù)是科百特最為重要的戰(zhàn)略方向之一，除了過濾產(chǎn)品，科百特在近兩年不斷地拓展半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用的產(chǎn)品線，包括AMC 空氣過濾、脫氣膜、內(nèi)襯設(shè)備、高純化學(xué)品包裝桶、PFA閥件，均可解決卡脖子問題，科百特正在努力朝著全球領(lǐng)先的全流體解決方案供應(yīng)商的方向邁進(jìn)。
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