NMC-3000等離子輔助MOCVD
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 那諾中國有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產(chǎn)地 美國
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2023/11/13 12:19:13
- 訪問次數(shù) 1842
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| 產(chǎn)地類別 | 進口 | 應用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子,制藥 |
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等離子輔助MOCVD技術(shù)
NMC-3000等離子輔助MOCVD概述：NANO-MASTER針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺式等離子輔助金屬有機化學氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、加熱的氣體管路、950度樣品臺三個氣體環(huán)、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)、PC全自動控制，*的安全互鎖。
目前，這項技術(shù)延伸到5個4"晶圓的立柜式獨立批處理系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以集成到集群配置中以滿足高產(chǎn)量的要求。
NMC-3000等離子輔助MOCVD應用：Green LED’s (GaN, InGaN, AlGaN, ...)
NMC-3000等離子輔助MOCVD系統(tǒng)特點：
- 臺式系統(tǒng)
- 5個帶獨立冷卻槽的起泡器
- 加熱的氣體管路
- 950 °C樣品臺，2”晶圓片
- 3個氣體環(huán)
- RF等離子源，帶淋浴頭氣體分布
- 工藝完成后N2自動沖洗
- 極限真空5x10-7Torr
- 260 l/s的渦輪分子泵串接無油干泵
- 通過LabView軟件實現(xiàn)PC計算機全自動控制
- 菜單驅(qū)動，4級密碼訪問控制
- 完整的安全聯(lián)鎖
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